[发明专利]正型感光性组合物在审
申请号: | 201410749267.0 | 申请日: | 2014-12-09 |
公开(公告)号: | CN104714369A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 冈本优纪;木村佑希;江头友弘 | 申请(专利权)人: | 捷恩智株式会社 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/004 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 日本东京千代*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种正型感光性组合物,其含有硅氧烷聚合物(A)、下述式(1)或式(2)所表示的萘醌二叠氮衍生物(B)、以及有机溶剂(C)。并且其特征在于:使本发明的正型感光性组合物于350℃以上进行热硬化而获得的硬化膜的于波长400nm下的每1μm膜厚的透光率为95%以上。式中,R1及R2分别独立地表示芳基。 | ||
搜索关键词: | 感光性 组合 | ||
【主权项】:
一种正型感光性组合物,其特征在于:含有硅氧烷聚合物(A)、下述式(1)或式(2)所表示的萘醌二叠氮化物衍生物(B)、以及有机溶剂(C),并且使该组合物于350℃以上进行热硬化而获得的硬化膜的于波长400nm下的每1μm膜厚的透光率为95%以上,式中,R1及R2分别独立地表示芳基。
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