[发明专利]静电抓持方法及设备

摘要

一种在等离子加工期间以静电方式将电介质晶片(30)抓持于加工工作台(3)的方法。该工作台(3)具有嵌置于其中的交错电极(26、28)。本方法包括：将具有相反的第一极性和第二极性的相应电压施加于相邻的电极(26、28)，其中，以与相应下方电极相反的极性，在晶片(30)中感应极化电荷，从而，将晶片以静电方式抓持于工作台；以及，在预定时间(t_on)之后，使电压的极性反转，使得极化电荷以及静电抓持作用持续。各个第一极性和第二极性的接通时间(t_on)预先选择为a)大于时间(T₁)，要求时间(T₁)以在晶片中产生足够极化电荷，使得抓持电压撤销之后，具有所要求的压力，保持晶片至少2秒钟，b)小于时间(T₂)，时间(T₂)是在有稳定电压和等离子体的情况下使晶片按第一预定量与工作台分离所用的时间，以及c)小于时间(T₃)，时间(T₃)是在所施加电压已施加之后在没有等离子体的情况下使晶片按第二预定量与基底分离所用的时间。第一极性与第二极性之间切换所用的时间(t_s)小于时间(T₁)并且小于2秒。

主权项

1.一种在等离子加工期间以静电方式将电介质晶片抓持于加工工作台的方法，所述工作台具有嵌置于其中的交错电极，所述方法包括，将具有相反的第一极性和第二极性的相应电压施加于相邻的电极，其中，在所述晶片中以与相应下方电极相反的极性感应极化电荷，从而，以静电方式将所述晶片抓持于所述工作台；以及，在预定接通时间ton之后，将所述电压的极性反转，使得所述极化电荷以及静电抓持作用持续，其特征在于：i)各所述第一极性和所述第二极性的接通时间ton预先选择为a)大于时间T1，要求时间T1以在所述晶片中产生足够极化电荷，使得撤销抓持电压之后，具有所要求的压力，保持所述晶片至少2秒钟，b)小于时间T2，要求时间T2是有稳定电压和等离子体的情况下使所述晶片按第一预定量与所述工作台分离所用的时间，以及c)小于时间T3，要求时间T3是在所施加电压已施加之后，在没有等离子体的情况下，使所述晶片按第二预定量与所述工作台分离所用的时间；以及，在于ii)所述第一极性与所述第二极性之间切换所用的切换时间ts小于所述时间T1并且小于2秒。