[发明专利]光阻解凝机无效
| 申请号： | 201410735017.1 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104492324A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 徐彬;方仲贤;徐涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B01F9/00 | 分类号： | B01F9/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光阻解凝机，所述光阻解凝机包括：一机台；一转动构件，设置于所述机台上，所述转动构件用于带动光阻容器转动，其中，所述光阻容器装有光阻材料；至少一传动构件，与所述转动构件连接；一电动机，设置于所述机台上，所述电动机与至少一所述传动构件连接，用于通过所述传动构件带动所述转动构件转动。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻解凝机 | ||
【主权项】：
一种光阻解凝机，其特征在于，所述光阻解凝机包括：一机台；一转动构件，设置于所述机台上，所述转动构件用于带动光阻容器转动，其中，所述光阻容器装有光阻材料；至少一传动构件，与所述转动构件连接；一电动机，设置于所述机台上，所述电动机与至少一所述传动构件连接，用于通过所述传动构件带动所述转动构件转动。
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