[发明专利]光阻解凝机无效

专利信息
申请号: 201410735017.1 申请日: 2015-08-04
公开(公告)号: CN104492324A 公开(公告)日: 2015-07-29
发明(设计)人: 徐彬;方仲贤;徐涛 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: B01F9/00 分类号: B01F9/00
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 光阻解凝机
【权利要求书】:

1.一种光阻解凝机,其特征在于,所述光阻解凝机包括:

一机台;

一转动构件,设置于所述机台上,所述转动构件用于带动光阻容器转动,其中,所述光阻容器装有光阻材料;

至少一传动构件,与所述转动构件连接;

一电动机,设置于所述机台上,所述电动机与至少一所述传动构件连接,用于通过所述传动构件带动所述转动构件转动。

2.根据权利要求1所述的光阻解凝机,其特征在于,所述转动构件包括:

至少两转动柱,相邻两所述转动柱用于共同承载所述光阻容器,以及用于共同带动所述光阻容器转动。

3.根据权利要求2所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述转动柱的第一转轴位于同一平面上,并且相互平行,相邻两所述转动柱之间具有一第一间隙,所述第一间隙小于所述光阻容器的横截面的最大内切圆的直径;

相邻两所述转动柱的转动方向相同,相邻两所述转动柱的转动速度相同。

4.根据权利要求3所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述转动柱的第一转轴位于同一水平面或斜面上。

5.根据权利要求1所述的光阻解凝机,其特征在于,所述转动构件包括:

一第一旋转基座,用于承载并固定所述光阻容器,以及用于带动所述光阻容器绕第二转轴转动。

6.根据权利要求5所述的光阻解凝机,其特征在于,所述第一旋转基座用于固定所述光阻容器的一端;

所述光阻解凝机还包括:

第二旋转基座,所述第二旋转基座用于固定所述光阻容器的另一端,以及用于协助所述光阻容器转动,所述第二旋转基座的转轴与所述第二转轴共线。

7.根据权利要求5所述的光阻解凝机,其特征在于,所述第二转轴与水平面之间的第三夹角处于0至90度的范围内。

8.根据权利要求1所述的光阻解凝机,其特征在于,所述转动构件包括:

至少两滚轮组,相邻两所述滚轮组用于共同承载所述光阻容器,以及用于共同带动所述光阻容器转动;

其中,所述滚轮组包括至少两个滚轮,所述滚轮组中的至少两所述滚轮串接于第三转轴上。

9.根据权利要求8所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述滚轮组的第三转轴位于同一平面上,并且相互平行,相邻两所述滚轮组之间具有一第二间隙,所述第二间隙小于所述光阻容器的横截面的最大内切圆的直径;

相邻两所述滚轮组的转动方向相同,相邻两所述滚轮组的转动速度相同。

10.根据权利要求9所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述滚轮组的第三转轴位于同一水平面或斜面上。

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