[发明专利]光阻解凝机无效
| 申请号: | 201410735017.1 | 申请日: | 2015-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN104492324A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
| 发明(设计)人: | 徐彬;方仲贤;徐涛 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | B01F9/00 | 分类号: | B01F9/00 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光阻解凝机 | ||
1.一种光阻解凝机,其特征在于,所述光阻解凝机包括:
一机台;
一转动构件,设置于所述机台上,所述转动构件用于带动光阻容器转动,其中,所述光阻容器装有光阻材料;
至少一传动构件,与所述转动构件连接;
一电动机,设置于所述机台上,所述电动机与至少一所述传动构件连接,用于通过所述传动构件带动所述转动构件转动。
2.根据权利要求1所述的光阻解凝机,其特征在于,所述转动构件包括:
至少两转动柱,相邻两所述转动柱用于共同承载所述光阻容器,以及用于共同带动所述光阻容器转动。
3.根据权利要求2所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述转动柱的第一转轴位于同一平面上,并且相互平行,相邻两所述转动柱之间具有一第一间隙,所述第一间隙小于所述光阻容器的横截面的最大内切圆的直径;
相邻两所述转动柱的转动方向相同,相邻两所述转动柱的转动速度相同。
4.根据权利要求3所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述转动柱的第一转轴位于同一水平面或斜面上。
5.根据权利要求1所述的光阻解凝机,其特征在于,所述转动构件包括:
一第一旋转基座,用于承载并固定所述光阻容器,以及用于带动所述光阻容器绕第二转轴转动。
6.根据权利要求5所述的光阻解凝机,其特征在于,所述第一旋转基座用于固定所述光阻容器的一端;
所述光阻解凝机还包括:
第二旋转基座,所述第二旋转基座用于固定所述光阻容器的另一端,以及用于协助所述光阻容器转动,所述第二旋转基座的转轴与所述第二转轴共线。
7.根据权利要求5所述的光阻解凝机,其特征在于,所述第二转轴与水平面之间的第三夹角处于0至90度的范围内。
8.根据权利要求1所述的光阻解凝机,其特征在于,所述转动构件包括:
至少两滚轮组,相邻两所述滚轮组用于共同承载所述光阻容器,以及用于共同带动所述光阻容器转动;
其中,所述滚轮组包括至少两个滚轮,所述滚轮组中的至少两所述滚轮串接于第三转轴上。
9.根据权利要求8所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述滚轮组的第三转轴位于同一平面上,并且相互平行,相邻两所述滚轮组之间具有一第二间隙,所述第二间隙小于所述光阻容器的横截面的最大内切圆的直径;
相邻两所述滚轮组的转动方向相同,相邻两所述滚轮组的转动速度相同。
10.根据权利要求9所述的光阻解凝机,其特征在于,相邻两所述滚轮组的第三转轴位于同一水平面或斜面上。
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