[发明专利]一种碳纳米纤维/金刚石复合薄膜材料及其作为热电池能量转换器件的应用有效
| 申请号： | 201410709618.5 | 申请日： | 2014-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN105633263B | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 姜辛;邰凯平;庄昊;黄楠;邱建航 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01L35/22 | 分类号： | H01L35/22 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 许宗富,周秀梅 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳纳米纤维/金刚石复合薄膜材料及其作为热电池能量转换器件的应用，利用微波等离子体技术在普通硅片基底上沉积金刚石薄膜；利用20％KOH溶液刻蚀掉硅基底，制备自支撑金刚石薄膜；通过电子束蒸发‑沉积法或磁控溅射法在金刚石薄膜上沉积金属薄膜，再在金属薄膜上生长碳纳米纤维层。该方法生长的碳纳米纤维在近乎全太阳光波段内具有很高的吸收率，可将太阳辐射能转化成热能；而金刚石薄膜基底具有很好的热导率，能将碳纳米纤维吸收的热量快速传导给半导体热电能量转换材料，集成太阳能‑热电池器件，实现高效率的太阳能‑电能转换。该发明具有良好的工业应用前景及基础科学研究价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 纤维 金刚石 复合 薄膜 材料 及其 作为 电池 能量 转换 器件 应用 | ||
【主权项】：
一种碳纳米纤维/金刚石复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料包括金刚石薄膜层、金属层和碳纳米纤维层，其中：所述金刚石薄膜层的一侧表面具有凹槽结构，所述金属层沉积于所述凹槽的槽底，所述碳纳米纤维层生长在金属层上并填充于所述凹槽内,所述碳纳米纤维层的厚度为5‑10μm。
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