[发明专利]一种基于光化学沉积制备铜铟镓硒薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201410709406.7 申请日: 2014-11-28
公开(公告)号: CN104362222A 公开(公告)日: 2015-02-18
发明(设计)人: 李劼;秦勤;刘芳洋;赖延清;杨佳;赵联波;张坤;王庆龙 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C23C14/06
代理公司: 长沙市融智专利事务所 43114 代理人: 魏娟
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种基于光化学沉积制备铜铟镓硒薄膜的方法,该方法是先在导电基体上镀一层Se或S薄膜,再将镀有Se或S薄膜的导电基体置于含有铟离子、镓离子、硒离子、铜离子中的至少两种和光电子释放剂的溶液体系中,进行光化学沉积,得到铜铟镓硒薄膜;该方法成功地将光化学沉积方法运用到铜铟镓硒薄膜制备过程中,可以有效控制光化学沉积铜铟镓硒薄膜的生长情况及形貌,制备的铜铟镓硒薄膜表面形貌好、致密度高、成分可控,有效解决传统光化学沉积中存在的沉积过程可控性差、成膜不均匀的问题,且该方法原料利用率高,成本低,可大规模推广生产。
搜索关键词: 一种 基于 光化学 沉积 制备 铜铟镓硒 薄膜 方法
【主权项】:
一种基于光化学沉积制备铜铟镓硒薄膜的方法,其特征在于,先在导电基体上镀一层Se或S薄膜,再将镀有Se或S薄膜的导电基体置于含有铟离子、镓离子、硒离子、铜离子中的至少两种和光电子释放剂的溶液体系中,进行光化学沉积,得到CuaInbGacSed薄膜,其中,0≤a,0≤b,0≤c,0≤d,且a、b、c、d中至少两个不同时为0;所述的光电子释放剂为Na2SO3、Na2S2O3、K2SO3、K2S2O3、Li2SO3、Li2S2O3中的至少一种。
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