[发明专利]一种基于光化学沉积制备铜铟镓硒薄膜的方法有效
| 申请号: | 201410709406.7 | 申请日: | 2014-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN104362222A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
| 发明(设计)人: | 李劼;秦勤;刘芳洋;赖延清;杨佳;赵联波;张坤;王庆龙 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C23C14/06 |
| 代理公司: | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人: | 魏娟 |
| 地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种基于光化学沉积制备铜铟镓硒薄膜的方法,该方法是先在导电基体上镀一层Se或S薄膜,再将镀有Se或S薄膜的导电基体置于含有铟离子、镓离子、硒离子、铜离子中的至少两种和光电子释放剂的溶液体系中,进行光化学沉积,得到铜铟镓硒薄膜;该方法成功地将光化学沉积方法运用到铜铟镓硒薄膜制备过程中,可以有效控制光化学沉积铜铟镓硒薄膜的生长情况及形貌,制备的铜铟镓硒薄膜表面形貌好、致密度高、成分可控,有效解决传统光化学沉积中存在的沉积过程可控性差、成膜不均匀的问题,且该方法原料利用率高,成本低,可大规模推广生产。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 基于 光化学 沉积 制备 铜铟镓硒 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种基于光化学沉积制备铜铟镓硒薄膜的方法,其特征在于,先在导电基体上镀一层Se或S薄膜,再将镀有Se或S薄膜的导电基体置于含有铟离子、镓离子、硒离子、铜离子中的至少两种和光电子释放剂的溶液体系中,进行光化学沉积,得到CuaInbGacSed薄膜,其中,0≤a,0≤b,0≤c,0≤d,且a、b、c、d中至少两个不同时为0;所述的光电子释放剂为Na2SO3、Na2S2O3、K2SO3、K2S2O3、Li2SO3、Li2S2O3中的至少一种。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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