[发明专利]用于X射线分析器的光轴调整方法和X射线分析器

摘要

本发明涉及用于X射线分析器的光轴调整方法和X射线分析器。提供了一种用于X射线分析器的光轴调整方法，所述X射线分析器包括入射侧臂、接收侧臂、X射线源、入射侧狭缝、以及具有在直线上的X射线强度位置分辨的一维X射线检测器。所述方法包括2θ调整步骤，其中将接收侧臂的旋转的0°位置和衍射角2θ的0°位置对准；Zs轴调整步骤，其中调整沿着与从X射线源入射到样本上的X射线的中心线正交的方向的入射侧狭缝的位置；以及θ调整步骤，其中调整从X射线源入射到样本上的X射线的中心线和样本的表面从而使其平行。在2θ调整步骤、Zs轴调整步骤和θ调整步骤中，由一维X射线检测器具有的针对在直线上的X射线强度位置分辨的能力被用于执行2θ调整、Zs轴调整和θ调整。

主权项

一种用于X射线分析器的光轴调整方法，（A）所述X射线分析器包括：　　环绕穿过组成放置样本的位置的样本位置的样本轴旋转的入射侧臂；　　环绕样本轴旋转并且朝向与入射侧臂相反的一侧延伸的接收侧臂；　　在入射侧臂上提供的X射线源；　　在样本位置和X射线源之间的入射侧臂上提供的入射侧狭缝；以及　　在接收侧臂上提供并且具有X射线强度位置分辨的X射线检测器，所述X射线强度位置分辨是在直线上的预定区域之内检测X射线强度的功能，其中：　　从X射线源入射到样本上的X射线的入射角是入射角θ，以及　　通过由样本衍射的X射线的中心线和入射到样本上的X射线的中心线形成的角度是衍射角2θ，（B）所述光轴调整方法包括：　　2θ调整步骤，其中将接收侧臂的旋转的0°位置和衍射角2θ的0°位置对准；　　Zs轴调整步骤，其中调整沿着与从X射线源入射到样本上的X射线的中心线正交的方向的入射侧狭缝的位置；以及　　θ调整步骤，其调整从X射线源入射到样本上的X射线的中心线和样本的表面从而使其平行，　　其中，在所述2θ调整步骤、Zs轴调整步骤、以及θ调整步骤中，由X射线检测器具有的在直线上的X射线强度位置分辨的能力分别被用于执行2θ调整、Zs轴调整、以及θ调整。