[发明专利]用于X射线分析器的光轴调整方法和X射线分析器

权利要求书

1.一种用于X射线分析器的光轴调整方法，

（A）所述X射线分析器包括：

　　环绕穿过组成放置样本的位置的样本位置的样本轴旋转的入射侧臂；

　　环绕样本轴旋转并且朝向与入射侧臂相反的一侧延伸的接收侧臂；

　　在入射侧臂上提供的X射线源；

　　在样本位置和X射线源之间的入射侧臂上提供的入射侧狭缝；以及

　　在接收侧臂上提供并且具有X射线强度位置分辨的X射线检测器，所述X射线强度位置分辨是在直线上的预定区域之内检测X射线强度的功能，

其中：

　　从X射线源入射到样本上的X射线的入射角是入射角θ，以及

　　通过由样本衍射的X射线的中心线和入射到样本上的X射线的中心线形成的角度是衍射角2θ，

（B）所述光轴调整方法包括：

　　2θ调整步骤，其中将接收侧臂的旋转的0°位置和衍射角2θ的0°位置对准；

　　Zs轴调整步骤，其中调整沿着与从X射线源入射到样本上的X射线的中心线正交的方向的入射侧狭缝的位置；以及

　　θ调整步骤，其调整从X射线源入射到样本上的X射线的中心线和样本的表面从而使其平行，

　　其中，在所述2θ调整步骤、Zs轴调整步骤、以及θ调整步骤中，由X射线检测器具有的在直线上的X射线强度位置分辨的能力分别被用于执行2θ调整、Zs轴调整、以及θ调整。

2.根据权利要求1所述的X射线分析器光轴调整方法，其中：

使用X射线检测器来同时求取在X射线检测器的X射线接收区域中的针对多个不同的2θ角度值的X射线强度；并且

基于所求取的X射线强度来求取针对2θ调整的角度偏差量、针对Zs轴调整的入射侧狭缝位置偏差量、针对θ调整的平行度的偏差量。

3.根据权利要求1所述的X射线分析器光轴调整方法，其中：

在2θ调整步骤期间，

　　将中心狭缝设置在样本位置上，

　　将入射侧臂放置在入射角θ是0°的位置处，

　　将接收侧臂放置在衍射角2θ是0°的位置处，

　　将入射侧狭缝设置成开启状态，

　　由X射线源发射的X射线穿过入射侧狭缝和中心狭缝并且变成入射到X射线检测器上，

　　获得X射线入射到X射线检测器中的位置和衍射角2θ是0°的位置之间的偏差量，以及

　　通过按照偏差量移动接收侧臂的位置或者通过按照偏差量校正由X射线检测器针对衍射角2θ获得的数据来调整X射线的光轴。

4.根据权利要求3所述的X射线分析器光轴调整方法，其中：

在2θ调整步骤中按照偏差量校正X射线的光轴之后执行Zs轴调整步骤，以及

在Zs轴调整步骤中，

　　从样本位置移除中心狭缝，

　　将入射侧狭缝设置在沿着与从X射线源入射到样本上的X射线的中心线正交的方向的多个不同位置处，

　　X射线通过在多个不同位置中的每个位置处的入射侧狭缝入射到X射线检测器上，

　　根据放置入射侧狭缝的位置和由X射线检测器检测的X射线轮廓来计算衍射角2θ是0°的入射侧狭缝的位置，以及

　　将入射侧狭缝移动到所计算的位置，并且设置在所计算的位置处。

5.根据权利要求1所述的X射线分析器光轴调整方法，其中：

在θ调整步骤中，

　　将光轴调整夹具或者样本放置在样本位置上，

　　将入射侧臂放置在入射角θ是0°的位置处，

　　将接收侧臂放置在衍射角2θ是0°的位置处，

　　使X射线变成以多个不同的入射角θ入射到样本的表面上，并且使用X射线检测器在所述角度中的每个角度处测量X射线强度，

　　基于针对入射角θ的值和由X射线检测器检测的结果来计算针对X射线与样本的表面平行的入射角θ的值，以及

　　根据所计算的入射角θ来校正入射侧臂的位置。