[发明专利]一种谐振腔装置及其加工方法

摘要

本发明公开了一种谐振腔装置，属于原子频标技术领域，该装置包括内胆腔、微波腔、光电池、控温部件、磁感线圈、磁屏和印制板，内胆腔位于微波腔内，磁屏设置在微波腔外，控温部件安装在微波腔上，微波腔包括腔盖、腔体和耦合环，腔盖的中部设有通光栅，耦合环的一端固定在腔盖上，耦合环的另一端置于内胆腔中，光电池和印制板安装在腔盖上，磁感线圈设于腔体外围，微波腔内还设置有密封的隔离腔，内胆腔置于隔离腔中，内胆腔的一端穿过隔离腔，隔离腔内的气压高于内胆腔内的气压。内胆腔外套设隔离腔，增加了缓冲气体体积，隔离腔内的气压高于内胆腔内的气压，使得隔离腔中的缓冲气体渐渐往内胆腔中泄露，提高了内胆腔的气密性能和谐振效率。

主权项

一种谐振腔装置，所述装置包括内胆腔、微波腔、光电池、控温部件、磁感线圈、磁屏和印制板，所述内胆腔位于所述微波腔内，所述磁屏设置在所述微波腔外，所述控温部件安装在所述微波腔上，所述微波腔包括腔盖、腔体和耦合环，所述腔盖的中部设有通光栅，所述耦合环的一端固定在所述腔盖上，所述耦合环的另一端置于所述内胆腔中，所述光电池和所述印制板安装在所述腔盖上，所述磁感线圈设于所述腔体外围，其特征在于，所述微波腔内还设置有密封的隔离腔，所述内胆腔置于所述隔离腔中，所述内胆腔的一端穿过所述隔离腔并夹持于所述腔盖上，所述隔离腔和所述内胆腔中均充有碱金属以及缓冲气体，所述隔离腔内的气压高于所述内胆腔内的气压。