[发明专利]一种谐振腔装置及其加工方法

权利要求书

1.一种谐振腔装置，所述装置包括内胆腔、微波腔、光电池、控温部件、磁感线圈、磁屏和印制板，所述内胆腔位于所述微波腔内，所述磁屏设置在所述微波腔外，所述控温部件安装在所述微波腔上，所述微波腔包括腔盖、腔体和耦合环，所述腔盖的中部设有通光栅，所述耦合环的一端固定在所述腔盖上，所述耦合环的另一端置于所述内胆腔中，所述光电池和所述印制板安装在所述腔盖上，所述磁感线圈设于所述腔体外围，其特征在于，

所述微波腔内还设置有密封的隔离腔，所述内胆腔置于所述隔离腔中，所述内胆腔的一端穿过所述隔离腔并夹持于所述腔盖上，所述隔离腔和所述内胆腔中均充有碱金属以及缓冲气体，所述隔离腔内的气压高于所述内胆腔内的气压。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述隔离腔中还充有氧气。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控温部件包括热敏电阻和加热线圈，所述热敏电阻安装在所述腔盖上，所述热敏电阻的走线方向为所述腔体的轴线方向，所述腔体的侧壁上设有凹槽，所述加热丝采用双绞线形式且环绕在所述凹槽内。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述内胆腔的内壁上涂有石蜡层。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述磁屏包括内磁屏、外磁屏和底座，所述底座上分别设有用于放置所述内磁屏、外磁屏和微波腔的卡槽，所述内磁屏位于所述微波腔与所述外磁屏之间。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述腔盖与所述内磁屏之间设有第一弹簧卡口装置，所述内磁屏和所述外磁屏之间设有第二弹簧卡口装置。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述磁感线圈包括磁感应线圈筒和绕制在所述磁感应线圈筒外的双层线圈。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述腔盖上设置有调谐螺钉。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述内胆腔的穿过所述隔离腔的位置套设有橡胶软塞。

10.一种谐振腔装置加工方法，适用于加工如权利要求1-9所述的谐振腔装置，其特征在于，所述加工方法具有以下步骤：

加工内胆腔并检测所述内胆腔的腔内气压P_in；

加工圆柱形隔离腔并确定所述隔离腔的腔体长度L及腔体直径D；

将所述内胆腔置于所述隔离腔中并密封所述隔离腔，将所述隔离腔置于微波腔中；

在所述微波腔上设置控温部件，对所述微波腔按设定温度T进行加热，并实时检测所述隔离腔中的工作温度T₀；

根据泄漏率公式Q=D36L[2πR0TM]12(Pout-Pin)=Cm·ΔP,]]>计算满足谐振腔装置寿命要求时的气压比值P_in/P_out，其中，R₀为普适气体常量，M为泄漏气体分子的摩尔质量，Q为所述内胆腔泄漏率，P_out为所述隔离腔内的气压，流导所述内胆腔内外压强差ΔP＝P_out-P_in；

按照气压比值P_in/P_out和所述内胆腔的腔内气压P_in对所述隔离腔进行气体充制，使所述隔离腔的腔内气压达到P_out；

在所述微波腔的腔口处固定腔盖，将耦合环的一端置于所述内胆腔中，并将所述耦合环的另一端固定在所述腔盖上，在所述腔盖的中部设置通光栅，在所述腔盖上安装光电池和印制板；

在所述微波腔的腔体的外侧壁上设置磁感线圈，并在所述微波腔外设置磁屏。