[发明专利]一种高真空原位储靶装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201410675983.9 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104451550A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 向勇;张海涛;闫宗楷;叶继春;项晓东 | 申请（专利权）人： | 宁波英飞迈材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 朱俊跃 |
| 地址： | 315040 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高真空原位储靶装置及其使用方法，一腔体，所述腔体的内部设有若干层靶材层，并且每一所述靶材层具有若干靶材托盘，同时，若干层所述靶材层可在所述腔体的内部移动；所述腔体的外侧壁开设驳接接口，所述驳接接口安装接口阀门；真空泵，所述真空泵与所述腔体相连接。打开所述接口阀门，所述驱动装置驱动所述竖直杆上下升降和旋转，将需要取用的靶材托盘运动至所述接口阀门，所述靶材取用后关闭所述接口阀门，然后打开所述真空泵阀门和所述真空泵对所述腔体抽真空，以满足真空度要求。使用本发明，不但可以避免靶材污染，而且允许不破坏真空环境的情况下更换不同的靶材，有利于保护真空设备和提高制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 原位 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种高真空原位储靶装置，其特征在于，包括：一用于储靶腔的腔体，所述腔体的内部设有若干层靶材层，并且每一所述靶材层具有若干用于放置靶材的靶材托盘，同时，若干层所述靶材层可在所述腔体的内部移动；所述腔体的外侧壁开设驳接接口，所述驳接接口连接外置真空腔体，并且所述驳接接口安装接口阀门，通过所述驳接接口用于存放或者取用所述靶材；还包括：真空泵，所述真空泵与所述腔体相连接。
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