[发明专利]菲林检测方法及装置在审
| 申请号： | 201410669942.9 | 申请日： | 2014-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN104330419A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 邹美芳;姚毅;宋学勇;金刚;赵敏 | 申请（专利权）人： | 北京凌云光技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 100195 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种菲林检测方法及装置。所述菲林检测方法包括确定待检测菲林中布线的最小线宽；根据待检测菲林中布线的最小线宽确定线性扫描装置一次扫描区域的域宽；利用蓝色光源由下向上照射待检测菲林，蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的面积大于或等于线性扫描装置一次扫描区域的面积，且蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的中心与待检测菲林第一次被扫描区域的中心重合；沿待检测菲林幅长方向逐行扫描待检测菲林，蓝色光源与线性扫描装置同步；在对待检测菲林的扫描结束后，线性扫描装置将待检测菲林的图像与标准图像进行对比并输出对比结果。本发明对黑片和棕片均能够进行检测，具有检测效率高、漏检率低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种菲林检测方法，其特征在于，包括：确定待检测菲林中布线的最小线宽；根据待检测菲林中布线的最小线宽确定线性扫描装置一次扫描区域的域宽；利用蓝色光源由下向上照射待检测菲林，蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的面积大于或等于线性扫描装置一次扫描区域的面积，且蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的中心与待检测菲林第一次被扫描区域的中心重合；沿待检测菲林幅长方向逐行扫描待检测菲林，蓝色光源与线性扫描装置同步；在对待检测菲林的扫描结束后，线性扫描装置将待检测菲林的图像与标准图像进行对比并输出对比结果。
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