[发明专利]菲林检测方法及装置

权利要求书

1.一种菲林检测方法，其特征在于，包括：

确定待检测菲林中布线的最小线宽；

根据待检测菲林中布线的最小线宽确定线性扫描装置一次扫描区域的域宽；

利用蓝色光源由下向上照射待检测菲林，蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的面积大于或等于线性扫描装置一次扫描区域的面积，且蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的中心与待检测菲林第一次被扫描区域的中心重合；

沿待检测菲林幅长方向逐行扫描待检测菲林，蓝色光源与线性扫描装置同步；

在对待检测菲林的扫描结束后，线性扫描装置将待检测菲林的图像与标准图像进行对比并输出对比结果。

2.根据权利要求1所述的菲林检测方法，其特征在于，在线性扫描装置一次扫描区域的域长小于所述待检测菲林的幅宽时，所述线性扫描装置沿待检测菲林幅长的方向以S型轨迹移动。

3.根据权利要求1或2所述的菲林检测方法，其特征在于，利用所述蓝色光源两侧的补光光源照射所述待检测菲林，所述补光光源发射与蓝色光源相同波长的蓝光；

所述补光光源的光轴和所述直射光源的光轴均位于同一平面，所述补光光源分别设置在所述直射光源的两侧且光轴与所述直射光源的光轴之间的夹角大于0度小于90度；所述直射光源两侧的补光光源与所述直射光源的移动同步。

4.根据权利要求3所述的菲林检测装置，其特征在于，所述直射光源和其两侧的补光光源发出蓝光的亮度可调。

5.一种菲林检测方法，其特征在于，包括：

确定菲林中最细线的细度；

根据菲林中最细线的细度确定图像采集装置的设定位置；

利用蓝色光源由下向上照射待检测菲林，蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的面积大于或等于图像采集装置拍摄区域的面积，且蓝色光源在待检测菲林上形成的照射区域的中心与图像采集装置拍摄区域的中心重合；

在对待检测菲林的图像采集结束后，图像采集装置将待检测菲林的图像与标准图像进行对比并输出对比结果。

6.根据权利要求5所述的菲林检测方法，其特征在于，利用两束蓝光作为补光光源照射所述待检测菲林，两束补光光源分设于所述蓝色光源的两侧，且两束补光光源的光轴和所述蓝色光源的光轴均位于同一平面，每束补光光源的光轴与所述蓝色光源的光轴之间的夹角大于0度小于90度，所述补光光源发射的蓝光的波长与蓝色光源发射的蓝光波长相同。

7.一种菲林检测装置，包括玻璃平台和线性扫描装置，待检测菲林平放于所述玻璃平台上，所述线性扫描装置设置于所述玻璃平台上方的设定位置，其特征在于，还包括：

发射蓝色的光源装置，设置于所述玻璃平台下方的设定位置处；所述光源装置在待检测菲林上形成的照射区域的面积大于或等于线性扫描装置一次扫描区域的面积，且光源装置在待检测菲林上形成的照射区域的中心与待检测菲林第一次被扫描区域的中心重合；

运动机构，连接所述线性扫描装置和所述光源装置，使所述光源装置与所述线性扫描装置同步运动。

8.根据权利要求7所述的菲林检测装置，其特征在于，还包括：

固定于所述运动机构上、并位于所述光源装置两侧的补光光源，发射与所述光源装置发射波长相同的蓝光；所述补光光源的光轴和所述直射光源的光轴均位于同一平面，所述补光光源的光轴与所述直射光源的光轴之间的夹角大于0度小于90度。

9.一种菲林检测装置，包括玻璃平台和图像采集装置，待检测菲林平放于所述玻璃平台上，所述图像采集装置设置于所述玻璃平台上方的设定位置，其特征在于，还包括：

发射蓝色光源的光源装置，设置于所述玻璃平台下方的设定位置处；所述光源装置在待检测菲林上形成的照射区域的面积大于或等于图像采集装置拍摄区域的面积，且光源装置在待检测菲林上形成的照射区域的中心与图像采集装置拍摄区域的中心重合。

10.根据权利要求9所述的菲林检测装置，其特征在于，还包括：

固定于所述光源装置两侧的补光光源，发射与所述光源装置发射波长相同的蓝光；所述补光光源的光轴和所述光源装置的光轴均位于同一平面，所述补光光源的光轴与所述光源装置的光轴之间的夹角大于0度小于90度。