[发明专利]一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统无效
| 申请号： | 201410647025.0 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN104389019A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘瑜;陈晓玲 | 申请（专利权）人： | 刘瑜 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 涉及一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，设置工艺参数采集系统、工艺进程模拟系统、工艺可靠性分析系统及工艺参数改进系统。工艺参数采集系统是检测传感器的数据，形成反应晶体生长状态的工艺参数。工艺进程模拟系统设置晶体生长理论所形成的长晶核心算法，根据工艺参数采集系统获得的工艺参数再现晶体生长的状态。工艺可靠性分析系统是基于晶体生长的状态和工艺参数，判断整个工艺完成情况的系统。工艺参数改进系统则是基于工艺可靠性分析系统的结果，对工艺参数进行即时调整的程序。该系统是具有简单的自学习与分析功能的机器人程序，可以不断提高了系统的可靠性和进程模拟的精确程度，使晶体成品率得到最大限度的保证。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 蓝宝石 晶体生长 工艺 机器人 系统 | ||
【主权项】：
一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：设置四个组成部分：工艺参数采集系统、工艺进程模拟系统、工艺可靠性分析系统及工艺参数改进系统。
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