[发明专利]一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统

权利要求书

1.一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：设置四个组成部分：工艺参数采集系统、工艺进程模拟系统、工艺可靠性分析系统及工艺参数改进系统。

2.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：所述的工艺参数采集系统是检测传感器的数据，形成反应晶体生长状态的工艺参数，所述的传感器包括检测晶体质量的重量传感器、检测晶体位置的位置传感器和检测冷却水温度的水温传感器。

3.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：所述的工艺进程模拟系统设置晶体生长理论所形成的长晶核心算法，所述的长晶核心算法根据所述的工艺参数采集系统获得的工艺参数再现晶体生长的状态。

4.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：所述的工艺可靠性分析系统是基于晶体生长的状态和工艺参数，判断整个工艺完成情况的系统。

5.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：所述的工艺参数改进系统则是基于所述的工艺可靠性分析系统的结果，对所述的工艺参数进行即时调整的程序。