[发明专利]一种球层状硫化锑薄膜制备方法

摘要

本发明涉及一种球层状硫化锑薄膜制备方法，属于液相沉积制备功能材料技术领域。技术方案：首先将分析纯0.003molNa₂S₂O₃·5H₂O溶解于去离子水中，将分析纯0.002molSbC1₃·2H₂O溶解于浓HCl中，混合两种溶液并定容至100ml，磁力搅拌溶液5min，滴加氨水调解前驱液不同pH值；然后将蒸馏水、丙酮、无水乙醇中超声清洗30min、piranha溶液浸泡处理、氮气吹干的玻璃基片置于薄膜前驱液中进行沉积；最后将不同沉积时间和不同沉积温度制备的薄膜在一定温度条件下进行2h热处理，最终得到球层状硫化锑薄膜。本发明采用液相沉积技术可以在玻璃基板上制备出层球状的硫化锑薄膜，而且制备设备价格低廉、制备环境常温常压、制备工艺流程简单。

主权项

一种球层状硫化锑薄膜制备方法，包含如下步骤：① 基板前期处理裁剪后的玻璃基片先后置于蒸馏水、丙酮、无水乙醇中超声清洗30min，然后置于piranha溶液中浸泡处理5‑60min，取出后氮气吹干备用；② 薄膜前驱液配制将分析纯0.003mol Na₂S₂O₃·5H₂O溶解于去离子水中，将分析纯0.002mol SbC1₃·2H₂O溶解于浓HCl中，然后将两种溶液混合后定容，在磁力搅拌器上搅拌溶液5min，滴加氨水调解前驱液pH值于2‑5之间；③将步骤中处理后的基片置于步骤配置的前驱液中进行薄膜沉积，沉积时间为4‑24h，沉积温度为30‑60℃；将最后沉积完成的薄膜在200‑600℃条件下进行2h热处理，最终得到球层状硫化锑薄膜。