[发明专利]一种使用超高密度金刚石线切割太阳能级硅片的方法

摘要

本发明公开了一种使用超高密度金刚石线切割太阳能级硅片的方法，其包括如下步骤：(1)粘棒固定；(2)安装超高密度金刚石线；(3)线切；(4)清洗检测。本发明的优点在于，本发明使用超高密度金刚石线切割硅片，同时提高切割速度和出刀速度，克服了出刀面崩边严重及切割时间较长的问题；在提高出刀速度后，增加了钢线切削效率，减少了切割用时，提高了设备产能；长度在300～500μm范围内崩边降低占比为50％，同时表面粗糙度Rz中位数降低至4.2μm以下。

主权项

一种使用超高密度金刚石线切割太阳能级硅片的方法，其特征在于，其包括如下步骤：(1)粘棒固定；(2)安装超高密度金刚石线；(3)线切；(4)清洗检测；其中，(1)粘棒固定：将硅单晶切方磨平制得硅棒，将磨好的所述硅棒使用树脂胶粘接在料板上固化，所述硅棒与所述料板粘结牢固后安装在线切割设备上；(2)安装超高密度金刚石线：将超高密度金刚石线安装在多线切割机上，所述超高密度金刚石线的一端绕在带有小槽的行走轮上；(3)线切：用所述超高密度金刚石线进行切割，将所述硅棒加工成硅片；所述超高密度金刚石线上的金刚石颗粒密度为75～85颗/毫米；所述超高密度金刚石线的入刀速度为1‑1.2毫米/分钟，出刀速度为0.3‑0.6毫米/分钟，切割速度为0.85‑1.1毫米/分钟，切割过程中循环水流量为200L‑240升/分钟，所述循环水温度控制在20℃‑24℃；行走轮带动所述超高密度金刚石线进行往复走线，走线速度为800‑1100米/分钟，同时将硅棒下压进行切割制得硅片；主轴加速时间小于4秒，停顿时间小于0.3秒；(4)清洗检测：切割结束后将所述硅片进行脱胶清洗及检测包装。