[发明专利]电容器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种电容器及其制作方法，所述电容器包括一基材、一堆叠层、设于基材上的容器状储存节点结构，所述容器状储存节点结构位于基材上，其被堆叠层环绕且具有一基部及由基部向上延伸的一侧壁，其中所述侧壁的上部具有较小厚度的一电容介电材料层，设于容器状储存节点结构的表面、以及一电容电极材料层，设于电容介电材料层上并通过所述电容介电材料层电容耦合至储存节点结构。

主权项

一种电容器，其特征在于，包括：一基材；一堆叠层，设于所述基材上，其中所述堆叠层包括设于所述基材上的一绝缘层、一堆叠材料层，设于所述绝缘层上、一上支撑网层，位于所述堆叠材料层上、以及至少一下支撑网层，设于所述堆叠材料层内；多个容器状储存节点结构，位于所述基材上且被所述堆叠层所环绕，且所述储存节点结构具有一基部及由所述基部向上延伸的一侧壁，其中所述侧壁包括两个部分：一上部具有较小厚度，而一下部具有较大厚度；一电容介电材料层，设于各所述容器状储存节点结构的表面；以及一电容电极材料层，设于所述电容介电材料层上，所述电容电极材料层通过所述电容介电材料层电容耦合至所述储存节点结构。