[发明专利]CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置有效
| 申请号： | 201410589030.0 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104297659B | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 冯建中 | 申请（专利权）人： | 北京思比科微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司11260 | 代理人： | 郑立明,赵镇勇 |
| 地址： | 100085 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，探针卡上安装有图形玻璃，图形玻璃上设有测试图案和对准标记。探针卡的两侧分别设有移动卡槽，移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，两个步进电机的轴之间连接有圆辊状导轨，图形玻璃放在圆辊状导轨上。可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。 | ||
| 搜索关键词： | cmos 图像传感器 产品 图案 cp 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，其特征在于，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记；所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上；所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间；所述导轨为圆辊状。
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