[发明专利]CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种WAFER测试装置，尤其涉及一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。

背景技术

CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)是必备的测试项目，要求能能保证测试的准确性。

现有技术中的测试方法准确性较低、测试效率较低。

发明内容

本发明的目的是提供一种准确性高、测试效率高的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明实施例提供的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，由于探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。

附图说明

图1为本发明实施例中图形玻璃的结构示意图；

图2为本发明实施例中图形玻璃在探针卡上的安装结构示意图；

图3为本发明实施例中移动卡槽的结构示意图。

图中：

1、测试图案，2、对准标记，3、图形玻璃，4、PUPIL LENS(测试镜头)，5、移动卡槽，6、探针卡，7、步进马达，8、导轨。

具体实施方式

下面将对本发明实施例作进一步地详细描述。

本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其较佳的具体实施方式是：

包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。

所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上。

所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上。

所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间。

所述导轨为圆辊状。

本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，将测试的PATTERN(图案)印制在玻璃上，通过程序控制玻璃的移动，实现有PATTERN的测试和无PATTERN的测试；为保证测试的准确性，在玻璃上印制对准标记，实现玻璃上PATTERN对芯片的感光测试。CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)，在PROBE CARD(探针卡)上安装带有特定的图案玻璃，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。