[发明专利]具有用于横切应用的过程自动化的图案识别的差分成像

摘要

本发明涉及具有用于横切应用的过程自动化的图案识别的差分成像。一种方法，用于通过允许操作者在过程期间拍摄多个图像来将差分成像用于涉及TEM样本的应用，所述过程涉及聚焦离子束过程并且覆盖多个图像以创建清楚地示出研磨步骤之间的差异的差分图像。该方法还涉及生成被研磨区域的实时图像，以及使用差分图像的覆盖来示出每个图像中的小改变，并因此加亮离子束研磨位置。该方法还涉及自动化创建差分图像并使用该差分图像来自动研磨后继切片的过程。

主权项

1.一种用于利用带电粒子束系统在样本上执行终点确定的方法，其包括：将样本加载到带电粒子束系统中，所述带电粒子束系统包括离子束和电子显微镜；使用所述离子束研磨所述样本以暴露所述样本的第一表面；使用所述电子显微镜形成所述样本的第一表面的第一图像；使用所述离子束研磨所述样本的第一表面，以暴露所述样本的第二表面；使用所述电子显微镜形成所述样本的第二表面的第二图像；通过将所述第二图像覆盖在所述第一图像上，形成第三图像，所述第三图像是通过从所述第一图像减去所述第二图像形成的差分图像，所述第三图像示出由进行研磨以创建所述第二表面的所述离子束所构成的差异，其中，创建所述第三图像包括确定所述第一图像的一个或多个像素的灰度级是否比所述第二图像的对应像素的灰度级更暗；以及通过将所述第一图像覆盖在所述第二图像上，形成第四图像，所述第四图像是通过从所述第二图像减去所述第一图像形成的差分图像，所述第四图像示出由进行研磨以创建所述第二表面的所述离子束所构成的差异。