[发明专利]具有用于横切应用的过程自动化的图案识别的差分成像

权利要求书

1.一种用于利用带电粒子束系统在样本上执行终点确定的方法，其包括：

将样本加载到带电粒子束系统中，所述带电粒子束系统包括离子束和电子显微镜；

使用所述离子束研磨所述样本以暴露所述样本的第一表面；

使用所述电子显微镜形成所述样本的第一表面的第一图像；

使用所述离子束研磨所述样本的第一表面，以暴露所述样本的第二表面；

使用所述电子显微镜形成所述样本的第二表面的第二图像；

通过将所述第二图像覆盖在所述第一图像上，形成第三图像，所述第三图像是通过从所述第一图像减去所述第二图像形成的差分图像，所述第三图像示出由进行研磨以创建所述第二表面的所述离子束所构成的差异，

其中，创建所述第三图像包括确定所述第一图像的一个或多个像素的灰度级是否比所述第二图像的对应像素的灰度级更暗；以及

通过将所述第一图像覆盖在所述第二图像上，形成第四图像，所述第四图像是通过从所述第二图像减去所述第一图像形成的差分图像，所述第四图像示出由进行研磨以创建所述第二表面的所述离子束所构成的差异。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括通过将所述第三图像中较暗的像素由所述第四图像中较亮的对应像素所替换，以及将所述第四图像中较暗的像素由所述第三图像中较亮的对应像素所替换，形成第五图像。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第三图像、所述第四图像或者所述第五图像能够被周期性地显示在所述第二图像上的闪烁覆盖中，从而创建示出所述离子束最后在何处研磨的加亮区。

4.根据权利要求2所述的方法，进一步包括：

使用所述离子束研磨所述样本的第二表面，以创建所述样本的第三表面；

使用所述电子显微镜对所述样本的第三表面进行成像，从而创建所述样本的第六图像；以及

将所述第六图像覆盖在所述第二图像上，从而创建差分图像，所述差分图像示出了由用以创建所述第三表面的带电粒子束所构成的差异。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，控制器被用于自动化所述第一图像和所述第二图像的图像采集以及第三差分图像的创建，所述控制器包括计算机处理器和计算机可读存储器。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述控制器使用所述第三差分图像来基于来自所述差分图像的差异自动研磨所述第二表面。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述离子束在所述样本的表面上的停留点能够由所述控制器使用所述第三差分图像来确定。

8.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：执行计算以基本上在实时反馈中创建差分图像，使得所述带电粒子束系统的操作者能够在所述差分图像的创建之后立即利用所述离子束研磨样本。

9.一种用于利用带电粒子束系统在样本上执行终点确定的方法，其包括：

将样本加载到带电粒子束系统中，所述带电粒子束系统包括离子束和电子显微镜；

使用所述离子束研磨所述样本以暴露所述样本的第一表面；

使用所述电子显微镜形成所述样本的第一表面的第一图像；

使用所述离子束研磨所述样本的第一表面，以暴露所述样本的第二表面；

使用所述电子显微镜形成所述样本的第二表面的第二图像；

通过将所述第一图像覆盖在所述第二图像上形成第三图像，所述第三图像是通过从所述第二图像减去所述第一图像形成的差分图像，所述第三图像示出由进行研磨以创建第二表面的所述离子束所构成的差异，其中，创建所述第三图像包括确定所述第二图像的一个或多个像素的灰度级是否比所述第一图像的对应像素的灰度级更暗；以及

通过将所述第一图像覆盖在所述第二图像上形成第四图像，所述第四图像是通过从所述第二图像减去所述第一图像形成的差分图像，所述第四图像示出由进行研磨以创建第二表面的所述离子束所构成的差异。