[发明专利]闸阀装置和等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201410569365.6 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN104576283A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 锅山裕树;田中诚治 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/18 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种闸阀装置，其能够确保阀体和处理容器的导通，并且降低阀体和处理容器的损伤，抑制金属颗粒的产生。阀座板(204)为框状，具有与基板搬送用开口(1b1)基本同等大小的开口(204a)。阀座板(204)由金属等导电性材料构成，在由阀体(202)将基板搬送用开口(1b1)关闭的状态下介于阀体(202)与处理容器(1)之间。由与阀座板(204)同种的金属材料构成屏蔽环(232、242)，由此减少异种金属间的接触，抑制金属颗粒的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 闸阀 装置 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
一种闸阀装置，其特征在于：所述闸阀装置配置在具有用于将被处理基板搬入处理容器内和从所述处理容器内搬出所述被处理基板的开口部、利用在所述处理容器内生成的等离子体对所述被处理基板实施等离子体处理的等离子体处理装置中，该闸阀装置包括：阀体，其用于开闭所述开口部；阀体移动机构，其使所述阀体移动来通过所述阀体开闭所述开口部；导电性的阀座部件，其为具有开口的框状，安装于所述处理容器中的所述开口部的周围的壁，在通过所述阀体将所述开口部关闭了的状态下介于所述阀体与所述处理容器之间；第一气密密封部件，其在通过所述阀体将所述开口部关闭了的状态下，介于所述阀体与阀座部件之间而将它们之间气密地密封；第一导电性部件，其在通过所述阀体将所述开口部关闭了的状态下，介于所述阀体与阀座部件之间而将它们之间电连接；第二气密密封部件，其设置成包围所述开口部，介于所述阀座部件与所述处理容器之间而将它们之间气密地密封；和第二导电性部件，其设置成包围所述开口部，介于所述阀座部件与所述处理容器之间而将它们之间电连接，所述第一导电性部件和所述阀座部件由相同材料形成。
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