[发明专利]一种激光自混合干涉小角度测量方法及装置在审
申请号: | 201410560091.4 | 申请日: | 2014-10-20 |
公开(公告)号: | CN104330054A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 钟金钢;郭扬 | 申请(专利权)人: | 暨南大学 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 廖继海 |
地址: | 510630 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及激光自混合干涉小角度测量方法及装置,将激光器输出的激光束经聚焦透镜聚焦到旋转物体表面,入射线偏离旋转物体的角度旋转中心,激光器的输出功率用一光电探测器进行监测,当旋转物体发生小角度旋转时,光电探测器监测到的激光器输出功率将随着角度的变化而变化,通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系,来实现对被测物体旋转角度的测量。该测量装置结构简单、紧凑,测量精度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 混合 干涉 角度 测量方法 装置 | ||
【主权项】:
一种激光自混合干涉小角度测量方法,激光器(1)输出的激光束经聚焦透镜(4)聚焦到旋转物体(3)的反射面(2)上,激光束偏离旋转物体(3)的角度旋转中心,激光束经反射面(2)反射回激光器(1)中,引起激光自混合干涉,激光器(1)的输出功率用一光电探测器(6)进行监测,当旋转物体(3)发生小角度旋转时,光电探测器(6)监测到的激光器(1)的输出功率将随着角度的变化而变化,通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系,实现对旋转物体(3)旋转角度的测量,其特征在于:激光器(1)与旋转物体(3)的反射面(2)之间设置一个聚焦透镜(4),激光器(1)输出的激光束经聚焦透镜(4)聚焦到反射面(2)上。
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