[发明专利]一种激光自混合干涉小角度测量方法及装置在审

专利信息
申请号: 201410560091.4 申请日: 2014-10-20
公开(公告)号: CN104330054A 公开(公告)日: 2015-02-04
发明(设计)人: 钟金钢;郭扬 申请(专利权)人: 暨南大学
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 廖继海
地址: 510630 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及激光自混合干涉小角度测量方法及装置,将激光器输出的激光束经聚焦透镜聚焦到旋转物体表面,入射线偏离旋转物体的角度旋转中心,激光器的输出功率用一光电探测器进行监测,当旋转物体发生小角度旋转时,光电探测器监测到的激光器输出功率将随着角度的变化而变化,通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系,来实现对被测物体旋转角度的测量。该测量装置结构简单、紧凑,测量精度高。
搜索关键词: 一种 激光 混合 干涉 角度 测量方法 装置
【主权项】:
一种激光自混合干涉小角度测量方法,激光器(1)输出的激光束经聚焦透镜(4)聚焦到旋转物体(3)的反射面(2)上,激光束偏离旋转物体(3)的角度旋转中心,激光束经反射面(2)反射回激光器(1)中,引起激光自混合干涉,激光器(1)的输出功率用一光电探测器(6)进行监测,当旋转物体(3)发生小角度旋转时,光电探测器(6)监测到的激光器(1)的输出功率将随着角度的变化而变化,通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系,实现对旋转物体(3)旋转角度的测量,其特征在于:激光器(1)与旋转物体(3)的反射面(2)之间设置一个聚焦透镜(4),激光器(1)输出的激光束经聚焦透镜(4)聚焦到反射面(2)上。
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