[发明专利]一种激光自混合干涉小角度测量方法及装置

权利要求书

1.一种激光自混合干涉小角度测量方法，激光器（1）输出的激光束经聚焦透镜（4）聚焦到旋转物体（3）的反射面（2）上，激光束偏离旋转物体（3）的角度旋转中心，激光束经反射面（2）反射回激光器（1）中，引起激光自混合干涉，激光器（1）的输出功率用一光电探测器（6）进行监测，当旋转物体（3）发生小角度旋转时，光电探测器（6）监测到的激光器（1）的输出功率将随着角度的变化而变化，通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系，实现对旋转物体（3）旋转角度的测量，其特征在于：激光器（1）与旋转物体（3）的反射面（2）之间设置一个聚焦透镜（4），激光器（1）输出的激光束经聚焦透镜（4）聚焦到反射面（2）上。

2.一种激光自混合干涉小角度测量装置，包括激光器（1）、聚焦透镜（4）、光电探测器（6）以及信号处理系统（7），激光器（1）输出的激光束入射至旋转物体（3）的反射面（2）且激光束偏离旋转物体（3）的角度旋转中心，光电探测器（6）用于监测激光器（1）的输出功率，信号处理系统（7）与光电探测器（6）相连，其特征在于：激光器（1）与反射面（2）之间设置一个聚焦透镜（4），激光器（1）输出的激光束经聚焦透镜（4）聚焦到反射面（2）上。

3.根据权利要求2所述的小角度测量装置，其特征在于：聚焦透镜（4）与反射面（2）的距离为聚焦透镜（4）的焦距。