[发明专利]一种哑光膜真空光学镀膜方法

摘要

本发明公开了一种哑光膜真空光学镀膜方法，采用了二氧化锆和二氧化钛这两种高折射率的镀膜膜料，并采用了先蒸镀二氧化锆镀层再蒸镀二氧化钛镀层的二次镀膜工艺，镀膜后塑胶材料的透光率在可见光范围内保持在80％‑90％，且透光率是渐变的，不会出现明显的透光率波峰和波谷，从而使塑胶材料达到哑光，整体均匀无色，又能反射出精美的纹理外观效果。与现行生产工艺相比，由于仅采用两层的真空光学膜层，降低了生产成本。与现有技术五层以上的镀膜相比，缩短了生产周期。

主权项

一种哑光膜真空光学镀膜方法，其特征在于：通过如下步骤实现：S1：把塑胶材料放入真空镀膜设备，并将真空镀膜设备炉内真空压力环境抽至5×10^‑3～6×10^‑3Pa；S2：利用真空镀膜设备在塑胶材料上蒸镀或磁控溅射一层纯度为99.99％的厚度为10‑200nm的二氧化锆镀层；S3：利用真空镀膜设备在上述二氧化锆镀层的基础上再蒸镀或磁控溅射一层纯度为99.99％的厚度为10‑200nm的二氧化钛镀层，得到整体均匀无色的哑光镀膜；蒸镀或磁控溅射二氧化钛镀层时需要进行离子辅助，具体是：往真空镀膜设备通入氩气，氩气流量是10‑20sccm，阳极电压是100‑140V，阳极电流是6‑9A，灯丝电流是6‑9A；同时通入氧气，通入氩气和氧气后真空镀膜设备内的压力环境保持在1.0×10^‑2Pa～2.6×10^‑2Pa。