[发明专利]一种基于中心离轴型微透镜列阵的激光光束匀化方法有效
| 申请号： | 201410531843.4 | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN104267504A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 曹阿秀;史立芳;邓启凌;张满;庞辉;秦燕云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;贾玉忠 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于中心离轴型微透镜列阵的激光光束匀化方法，涉及激光照明、投影和加工等激光整形应用领域。本发明针对微透镜列阵实现激光光束整形匀化时，由于微透镜列阵的周期性和激光的相干性，在目标面产生周期性点阵，降低了光束匀化效果的问题，提出一种利用中心离轴型微透镜列阵结构消除点阵效应以实现激光光束匀化的方法。通过设计微透镜列阵中的子透镜单元位置，获取子透镜单元中心离轴分布的微透镜列阵，利用离轴量的随机性打破微透镜列阵的周期性，消除目标面处的相干条纹，实现高均匀性的光斑分布。本发明能够有效消除激光光束整形中的点阵效应，是一种实用的光束整形方法，具有较大的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 中心 离轴型微 透镜 列阵 激光 光束 方法 | ||
【主权项】：
一种基于中心离轴型微透镜列阵的激光光束匀化方法，其特征在于：中心离轴型微透镜列阵将入射激光光束分成多个小光束，再经过周期性微透镜列阵以及傅里叶透镜作用，使所有的小光束相互叠加铺满整个目标光斑区域，从而相互抵消小光束间的不均匀性，以实现激光光束的匀化。
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