[发明专利]用于光刻机的能量探测装置有效
| 申请号： | 201410528137.4 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104316172A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 谢承科;王莹;陈明;曾爱军;杨宝喜;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于光刻机的能量探测装置，特点在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜、积分棒、探测器、探测器信号处理电路、信号采集卡和计算机，所述的积分棒位于所述的反射镜的焦平面，所述的探测器的输出端接所述的探测器信号处理电路的电流信号输入端，该探测器信号处理电路的输出端经所述的信号采集卡与所述的计算机的输入端连接。本发明采用反射镜将光路折转，可减小光刻机的整机高度。所述的探测器信号处理电路可对窄脉冲信号进行放大、积分和保持，降低了后续信号采集电路的要求，能有效消除信号采集过程中孔径抖动对测量结果的影响；不需从能量探测装置外部输入积分保持电路的同步信号，可有效隔离外部噪声信号，提高能量探测装置的抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 能量 探测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机的能量探测装置，特征在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜(1)、积分棒(2)、探测器(3)、探测器信号处理电路(4)、信号采集卡(5)和计算机(6)，所述的积分棒(2)的入射端面位于所述的反射镜(1)的焦平面，所述的探测器的输出端接所述的探测器信号处理电路(4)的电流信号输入端，该探测器信号处理电路(4)的输出端经所述的信号采集卡(5)与所述的计算机(6)的输入端连接。
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