[发明专利]用于光刻机的能量探测装置

权利要求书

1.一种用于光刻机的能量探测装置，特征在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜(1)、积分棒(2)、探测器(3)、探测器信号处理电路(4)、信号采集卡(5)和计算机(6)，所述的积分棒(2)的入射端面位于所述的反射镜(1)的焦平面，所述的探测器的输出端接所述的探测器信号处理电路(4)的电流信号输入端，该探测器信号处理电路(4)的输出端经所述的信号采集卡(5)与所述的计算机(6)的输入端连接。

2.根据权利要求1所述的用于光刻机的能量探测装置，其特征在于所述的探测器信号处理电路(4)包括前置放大电路、积分保持电路和控制逻辑电路：

所述的前置放大电路由第一电阻(R1)、第一电容(C1)和第一运算放大器(U1)组成，第一运算放大器(U1)的同向输入端接地，反向输入端接所述的探测器(3)的电流信号输出端，所述的第一电阻(R1)和第一电容(C1)并联后连接在所述的第一运算放大器(U1)的反向输入端和输出端之间，将探测器输出的电流信号(I)转换成电压脉冲信号(V_o1)；

所述的积分保持电路由信号输入开关(S1)、信号放电开关(S2)、积分电容(C2)和第二运算放大器(U2)组成，所述的信号输入开关(S1)的一端接所述的第一运算放大器(U1)的输出端，另一端接第二运算放大器(U2)的反向输入端，控制端接同步信号产生电路的输出端，第二运算放大器(U2)的同向输入端接地，所述的信号放电开关(S2)和积分电容(C2)并联后接在第二运算放大器(U2)的反向输入端和输出端之间，所述的信号放电开关(S2)的控制端接第二时序产生电路的输出端；

所述的控制逻辑电路由同步信号产生电路、第一时序产生电路和第二时序产生电路组成，所述的同步信号产生电路由电压比较器(U3)、+5V电源和可变电阻器(VAR1)组成，其中+5V电源和可变电阻器(VAR1)组成分压电路给同步信号产生电路提供参考电压信号Vref；电压比较器(U3)的同相输入端连接所述的第一运算放大器(U1)的输出端，获得电压脉冲信号(Vo1)，反向输入端接所述的可变电阻器(VAR1)的滑动抽头，提供参考电压信号(Vref)，电压比较器(U3)的输出端接所述的信号输入开关(S1)的控制端和第一时序产生电路的第二触发输入端(B)，电压脉冲信号(Vo1)和参考电压信号(Vref)经电压比较器(U3)得到脉冲同步信号(V1)；所述的第一时序产生电路由施密特触发器的第1个施密特触发器(U4A)、第三电容(C3)和第二电阻(R2)组成，第1个施密特触发器(U4A)的第一触发输入端(A)接地，数据清零端(CLR)连接+5V电源，外部电阻电容端(RXCX)同时连接第三电容(C3)和第二电阻(R2)的节点，外部电容端(CX)连接第三电容(C3)的另一端，第二电阻(R2)的另一端连接+5V电源，数据输出端(Q)连接第二时序产生电路的第一触发输入端(A)，第二时序产生电路由施密特触发器的第2个施密特触发器(U4B)、第四电容(C4)和第三电阻(R3)组成，第2个施密特触发器(U4B)的第二触发输入端(B)和数据清零端(CLR)连接+5V电源，外部电阻电容端(RXCX)同时连接第四电容(C4)和第三电阻(R3)的节点，外部电容端(CX)连接第四电容(C4)的另一端，第三电阻(R3)的另一端连接+5V电源，数据输出端(Q)连接积分保持电路的信号放电开关(S2)的控制端。

3.根据权利要求1所述的用于光刻机的能量探测装置，其特征在于所述反射镜为球面反射镜或非球面反射镜。

4.根据权利要求1至3任一项所述的用于光刻机的能量探测装置，其特征在于所述的探测器为真空紫外探测器，或带波长转换器和滤光片的可见光探测器。