[发明专利]一种卡盘的水平调节装置以及使用该装置对卡盘进行水平调节的方法有效
| 申请号： | 201410513026.6 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN105529294B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 肖东风;贾照伟;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种卡盘的水平调节装置，包括卡盘、旋转轴、固定座和数字千分表，卡盘的中心为O，旋转轴的中心轴为Y且竖直，卡盘的中心O在Y轴上；所述旋转轴与卡盘由n个螺丝螺接，n≥3，且n个螺丝在O点所在的水平面上的投影构成一个n边形α的n个顶点；所述固定座上设置有固定杆，该固定杆固定安装有调节螺母，所述数字千分表搭载于调节螺母上，该调节螺母适于调节并锁死数字千分表在竖直方向的高度位置；所述数字千分表的测量端抵住卡盘的表面至有读数，数字千分表的测量端到中心O点的距离为R。同时，本发明还提出了利用上述装置对卡盘进行水平调节的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卡盘 水平 调节 装置 以及 使用 进行 方法 | ||
【主权项】：
1.一种卡盘的水平调节装置，其特征在于，包括卡盘、旋转轴、固定座和数字千分表，所述卡盘的中心为O，所述旋转轴的中心轴为Y且竖直，所述中心O在所述中心轴Y上；所述旋转轴与所述卡盘由n个螺丝螺接，n≥3，且所述n个螺丝在O点所在的水平面上的投影构成一个n边形α的n个顶点；所述固定座上设置有固定杆，该固定杆上固定安装有调节螺母，所述数字千分表搭载于所述调节螺母上，该调节螺母适于调节并锁死所述数字千分表在竖直方向的高度位置。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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