[发明专利]一种卡盘的水平调节装置以及使用该装置对卡盘进行水平调节的方法有效
| 申请号: | 201410513026.6 | 申请日: | 2014-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN105529294B | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
| 发明(设计)人: | 肖东风;贾照伟;王坚;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司: | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陆勍 |
| 地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 卡盘 水平 调节 装置 以及 使用 进行 方法 | ||
1.一种卡盘的水平调节装置,其特征在于,包括卡盘、旋转轴、固定座和数字千分表,所述卡盘的中心为O,所述旋转轴的中心轴为Y且竖直,所述中心O在所述中心轴Y上;所述旋转轴与所述卡盘由n个螺丝螺接,n≥3,且所述n个螺丝在O点所在的水平面上的投影构成一个n边形α的n个顶点;所述固定座上设置有固定杆,该固定杆上固定安装有调节螺母,所述数字千分表搭载于所述调节螺母上,该调节螺母适于调节并锁死所述数字千分表在竖直方向的高度位置。
2.根据权利要求1所述的水平调节装置,其特征在于,所述螺丝为旋进螺丝,所述卡盘的水平程度通过旋进螺丝的进动或退出加以控制,其中所述旋进螺丝每旋拧一周,其进动或退出的深度为h。
3.根据权利要求1所述的水平调节装置,其特征在于,所述螺丝嵌入所述卡盘。
4.根据权利要求1所述的水平调节装置,其特征在于,所述旋转轴绕中心轴Y旋转。
5.根据权利要求1所述的水平调节装置,其特征在于,所述旋转轴沿中心轴Y的径向延出有凸片结构,所述凸片结构上打有n个用于螺接所述卡盘的螺丝孔。
6.根据权利要求1所述的水平调节装置,其特征在于,所述中心O在所述n边形α的内部,或者在所述n边形α的边上,或者在所述n边形α的顶点上。
7.根据权利要求6所述的水平调节装置,其特征在于,所述n边形为正n边形,且所述中心O为所述正n边形的几何中心。
8.根据权利要求1所述的水平调节装置,其特征在于,所述水平调节装置与计算机相连,所述数字千分表将读取的高度数据反馈至所述计算机用于计算,并由所述计算机绘制位置与高度对应关系图。
9.根据权利要求1所述的水平调节装置,其特征在于,所述固定座和所述固定杆的位置均固定。
10.一种使用权利要求1中所述的装置对卡盘进行水平调节的方法,其特征在于,包括步骤:
旋拧所述调节螺母调试所述数字千分表的竖直高度,以使所述数字千分表的测量端调至抵住所述卡盘且有读数的位置,驱动所述旋转轴绕中心轴Y旋转,所述卡盘在旋转轴的带动下以中心O为圆心旋转,使数字千分表在卡盘转满一周的过程中始终有读数,所述数字千分表的测量端遍历所述卡盘上以O为圆心、以R为半径的圆周上的各点;
在所述卡盘旋转的状态下由所述数字千分表读取所述圆周上各点的高度数据;
在所述n个螺丝中选取其中的至少三个螺丝A1、A2和A3,并从数字千分表所读取的整个圆周的高度数据中筛选出OA1所指的圆周上B1点位置处的高度值H1、OA2所指的圆周上B2点位置处的高度值H2以及OA3所指的圆周上B3点位置处的高度值H3;
测量出OA1的长度r1、OA2的长度r2以及OA3的长度r3;
如果r1=r2=r3或者r1=0,则进行以下步骤,
以圆周上的B1点为基准,计算B2点与B1点之间的台阶差G21,G21=H2-H1;计算B3点与B1点之间的台阶差G31,G31=H3-H1;
计算螺丝A2和螺丝A1之间的台阶差g21,g21=G21*r2/R;计算螺丝A3和螺丝A1之间的台阶差g31,g31=G31*r3/R;
计算螺丝A2需要旋拧的周数x2并确定相应的旋拧方向,抬升或降低所述卡盘在相应位置处的高度,x2=(G21*r2)/(R*h);计算螺丝A3需要旋拧的周数x3并确定相应的旋拧方向,抬升或降低所述卡盘在相应位置处的高度,x3=(G31*r3)/(R*h);
在所述卡盘旋转的状态下,由所述数字千分表读取新的高度数据,并根据新的高度数据判断所述卡盘是否已达到水平。
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