[发明专利]两段式角阀

摘要

本发明涉及一种两段式角阀，其使用于真空舱压力平衡作业，包括一阀体，具有相连通的一第一管道及一第二管道；以及一连接于所述阀体处的驱动缸，所述驱动缸并具有一沿轴向位移的驱动轴，所述驱动轴端部设置有一位于所述第一管道与第二管道间的气密阀片，所述气密阀片并与第一管道活动气密。本发明的有益效果为所述驱动轴可带动气密阀片与第一管道先产生一第一间距，以控制第一、第二管道间以较小流量降低压力差，再产生一较第一间距大的第二间距以大流量完成压力平衡。确实避免第一、第二管道压力差所产生气流造成真空舱内待加工物被吹移的问题。

主权项

一种两段式角阀，其特征在于，包括：一阀体，所述阀体具有相连通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及一驱动缸，其一端为一开口，所述开口连接于所述阀体，并具有一沿驱动缸轴向位移的驱动轴，且所述开口处设有一端块，所述驱动轴端部可供一气密阀片设置，且所述气密阀片位于所述第一管道与第二管道间，所述气密阀片并与第一管道活动气密；所述驱动缸内包含有一第一腔室，及一设于所述第一腔室的外活塞杆；其中，所述驱动轴可带动气密阀片与第一管道产生一第一间距及一第二间距，使得所述气密阀片得以控制第一管道及第二管道间的流体流量，而且所述端块处沿平行于外活塞杆轴向的方向突伸设有至少一滑杆。