[发明专利]两段式角阀

说明书

技术领域

本发明有关于真空舱压力平衡用的两段式角阀有关，具体涉及一种具有两段开启行程、可先以第一段较小流量降低真空舱压力差，再以第二段大流量完成真空舱压力平衡，以避免压力差所产生气流造成真空舱内待加工物被吹移的问题的两段式角阀。

背景技术

晶圆、TFT LCD玻璃基板于制程中常需于真空环境下处理，一般待加工的晶圆、TFT LCD玻璃基板多于一可抽真空的真空舱内进行加工，而真空舱通常具有一进气阀门连接大气或空气泵，可于加工完成后开启进气阀门以破除真空舱的真空状况，并使真空舱之压力直到与大气压力平衡，以方便真空舱可进行取料及进料动作。

然而，传统进气阀门仅有一段行程，只能控制全开或全关，并无流量控制功效。当进气阀门于真空舱真空状态下开启时，开启初期的压力差会造成极大、快速的气流，造成真空舱内部的晶圆、TFT LCD玻璃基板容易被吹动而位移，导致晶圆、TFT LCD玻璃基板自载具上掉落、撞击的问题产生。

发明内容

针对现有技术中存在的不足，本发明的目的在于提供一种两段式角阀，可产生第一间距及第二间距两段行程，以控制先以第一间距较小流量降低压力差，再产生一较第一间距大的第二间距以大流量完成压力平衡。

本发明的技术方案如下：

一种两段式角阀，包括：一阀体，所述阀体具有相连通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及

一驱动缸，其一端连接于所述阀体处，并具有一沿驱动缸轴向位移的驱动轴，所述驱动轴端部可供一气密阀片设置，且所述气密阀片位于所述第一管道与第二管道间，所述气密阀片并与第一管道活动气密；其中，所述驱动轴可带动气密阀片与第一管道产生一第一间距及一第二间距，使得所述气密阀片得以控制第一管道及第二管道间的流体流量。

上述的两段式角阀，所述驱动缸还包括有：

一设于所述驱动缸内的第一腔室；

一设于所述第一腔室的外活塞杆，所述外活塞杆具有一密合于第一腔室壁面的外活塞部，以及一沿驱动缸轴向设置的外杆部，所述外杆部轴向穿设有一轴孔；

一第二腔室，其设于所述外活塞部内，并与所述轴孔连通；

一内活塞杆，其具有一密合于第二腔室壁面的内活塞部，以及一穿设于所述轴孔内的内杆部，且所述内杆部连接于驱动轴；

一连通于第一腔室的外驱动流道；以及

一连通于第二腔室的内驱动流道。

上述的两段式角阀，所述驱动缸连接于阀体的一端为一开口，所述开口处设有一端块，所述端块上穿设有一枢孔，以供所述外杆部端部穿设。

上述的两段式角阀，所述外驱动流道设置于端块内，一端连通于所述第一腔室，另一端连通于端块外部。

上述的两段式角阀，所述端块处沿平行于外活塞杆轴向的方向突伸设有至少一滑杆，且所述外活塞部设有可供所述滑杆穿伸的滑孔。

上述的两段式角阀，所述内驱动流道具有一设于端块内之第一段以及一设于所述滑杆内之第二段，且所述第二段一端连通于所述第一段，另一端则连通于所述第二腔室。

上述的两段式角阀，所述第二段自滑杆连接于端块的一端沿滑杆轴心设置，并于滑杆的外周缘形成一开孔，且所述开孔并连通于第二腔室接近轴孔处。

上述的两段式角阀，所述外驱动流道与内驱动流道连通于端块外部的一端设有一接头。

上述的两段式角阀，所述内驱动流道设有一止逆装置，俾以限制所述内驱动流道内之流体仅能由第一段往第二段方向流动。

上述的两段式角阀，所述止逆装置为一设置于所述第一段与接头间的止逆钢珠，且所述止逆钢珠往接头方向位移时，所述止逆钢珠可与所述接头密合。

上述的两段式角阀，所述驱动缸相反于所述开口的另一端为一封闭端，所述封闭端与外活塞杆的外活塞部间设有一复位弹簧。

上述的两段式角阀，所述外活塞部的第二腔室可轴向滑动地设有一弹簧座，所述弹簧座可供复位弹簧的端部套设固定。

上述的两段式角阀，所述弹簧座呈中空状，其内设有一内复位弹簧，且所述内复位弹簧的一端抵接于弹簧座，另一端抵接于内活塞部。

本发明的有益效果为：

（1）产生第一间距及第二间距两段行程，以控制先以第一间距较小流量降低压力差，再产生一较第一间距大的第二间距以大流量完成压力平衡。确实避免第一、第二管道压力差所产生气流造成真空舱内待加工物被吹移之问题；