[发明专利]光学式气体感测装置及其感测系统

摘要

本发明公开一种光学式气体感测装置，包含具有第一表面及第二表面的基板、位于基板的第一表面上的反射层、位于基板的第一表面上且邻接反射层的复数个电极垫、藉由复数个电极垫连接基板的感测层、位于感测层上的吸收层、位于感测层上且邻接吸收层的第一电极层、以及位于基板的第二表面上的第二电极层。

主权项

一种光学式气体感测装置，其特征在于，包含：基板，具有第一表面及第二表面；反射层，位于所述基板的所述第一表面上；复数个电极垫，位于所述基板的所述第一表面上且邻接所述反射层；感测层，藉由所述复数个电极垫连接所述基板，以令所述感测层与所述基板的所述反射层之间形成间隙；吸收层，位于相对于所述间隙上部的所述感测层上；第一电极层，位于所述感测层上且邻接所述吸收层；以及第二电极层，位于所述基板的所述第二表面上。