[发明专利]光学式气体感测装置及其感测系统

权利要求书

1.一种光学式气体感测装置，其特征在于，包含：

基板，具有第一表面及第二表面；

反射层，位于所述基板的所述第一表面上；

复数个电极垫，位于所述基板的所述第一表面上且邻接所述反射层；

感测层，藉由所述复数个电极垫连接所述基板，以令所述感测层与所述基板的所述反射层之间形成间隙；

吸收层，位于相对于所述间隙上部的所述感测层上；

第一电极层，位于所述感测层上且邻接所述吸收层；以及

第二电极层，位于所述基板的所述第二表面上。

2.如权利要求1所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述感测层的材料为高电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance，TCR)的热敏材料。

3.如权利要求1所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述吸收层的材料为氮化硅。

4.如权利要求1所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述第一电极层更包含第一金属层及第二金属层。

5.如权利要求4所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述第一金属层及所述第二金属层的材料分别为金(Au)及铬(Cr)。

6.如权利要求1所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述第二电极层更包含第三金属层及第四金属层。

7.如权利要求6所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述第三金属层及所述第四金属层的材料分别为铝(Al)及金(Au)。

8.如权利要求1所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述复数个电极垫的材料为氮化硅。

9.如权利要求1所述的光学式气体感测装置，其特征在于，所述基板的材料为硅或其他半导体材料。

10.一种光学式气体感测系统，其特征在于，包含：

气室，具有提供气体流入的气体入口及提供所述气体流出的气体出口；

光源，位于所述气室的一端，用以提供光线射入所述气室；

光学式气体感测装置，位于所述气室的另一端，用以接收通过所述气室的所述光线，所述光学式气体感测装置依据所接收的所述光线的强度而改变所述光学式气体感测装置的电阻值，其特征在于，所述光学式气体感测装置包含：

基板，具有第一表面及第二表面；

反射层，位于所述基板的所述第一表面上；

复数个电极垫，位于所述基板的所述第一表面上且邻接所述反射层；

感测层，藉由所述复数个电极垫连接所述基板，以令所述感测层与所述基板的所述反射层之间形成间隙；

吸收层，位于相对于所述间隙上部的所述感测层上；

第一电极层，位于所述感测层上且邻接所述吸收层；以及

第二电极层，位于所述基板的所述第二表面上；以及

感测电路，电性连接所述光学式气体感测装置，以依据所述光学式气体感测装置的所述电阻值输出电压值或电流值，进而依据所述电压值或所述电流值得到所述气体的浓度。