[发明专利]用于介质压力传感器的管芯结合设计

摘要

一种微机电压力传感器，其通过向基座的正方形顶面施加预定量的液体环氧树脂粘合剂并允许液体粘合剂本身分布在顶面上而在基座上而由硅管芯中心本身形成，该基座由金属或电介质形成。被放置到液体粘合剂上的MEMS管芯由于管芯的侧面与顶面之间的表面张力而在顶面上被置于中心。

主权项

1.一种压力传感器，包括：微机电压力传感器，包括：第一直角矩形棱镜，由硅制成，具有四个垂直且矩形的侧面和正方形且相对的顶面和底面，第一直角矩形棱镜的顶面和底面具有带有第一长度尺寸的四个等长度侧边，顶面和底面具有相应的第一面积，顶面还限定隔膜，其响应于施加于隔膜的压力而偏转，该第一直角矩形棱镜还具有通过底面的第一孔，并且其延伸通过第一直角矩形棱镜而到达在隔膜下面的开放空间；基座，由具有四个垂直且矩形的侧面和正方形且相对的顶面和底面的第二直角矩形棱镜形成，第二直角矩形棱镜的顶面和底面具有带有第二长度尺寸的四个相等长度的侧边和相应的第二面积，第二长度尺寸大于第一长度尺寸，该第二面积也大于第一面积，基座的正方形顶面包括四个拐角，其是圆形的，第二直角矩形棱镜也具有第二孔，其延伸通过第二直角矩形棱镜及其顶面和底面，第二孔与第一孔对准；以及管芯结合层，位于第二直角矩形棱镜的所述顶面与第一直角矩形棱镜的底面之间，管芯结合层由预定体积的液体粘合剂形成，其通过固化而硬化，该液体粘合剂在固化之前具有预定粘度，该液体粘合剂还具有表面张力，该液体粘合剂被选择成使得液体粘合剂的表面张力促使所述预定体积的液体本身均匀地分布在第二孔周围。