[发明专利]用于介质压力传感器的管芯结合设计

权利要求书

1.一种压力传感器，包括：

微机电压力传感器，包括：

第一直角矩形棱镜，由硅制成，具有四个垂直且矩形的侧面和正方形且相对的顶面和底面，第一直角矩形棱镜的顶面和底面具有带有第一长度尺寸的四个等长度侧边，顶面和底面具有相应的第一面积，顶面还限定隔膜，其响应于施加于隔膜的压力而偏转，该第一直角矩形棱镜还具有通过底面的第一孔，并且其延伸通过第一直角矩形棱镜而到达在隔膜下面的开放空间；

基座，由具有四个垂直且矩形的侧面和正方形且相对的顶面和底面的第二直角矩形棱镜形成，第二直角矩形棱镜的顶面和底面具有带有第二长度尺寸的四个相等长度的侧边和相应的第二面积，第二长度尺寸大于第一长度尺寸，该第二面积也大于第一面积，基座的正方形顶面包括四个拐角，其是圆形的，第二直角矩形棱镜也具有第二孔，其延伸通过第二直角矩形棱镜及其顶面和底面，第二孔与第一孔对准；以及

管芯结合层，位于第二直角矩形棱镜的所述顶面与第一直角矩形棱镜的底面之间，管芯结合层由预定体积的液体粘合剂形成，其通过固化而硬化，该液体粘合剂在固化之前具有预定粘度，该液体粘合剂还具有表面张力，该液体粘合剂被选择成使得液体粘合剂的表面张力促使所述预定体积的液体本身均匀地分布在第二孔周围。

2.权利要求1的压力传感器，其中，所述基座由电介质材料形成。

3.权利要求1的压力传感器，其中，所述基座是金属的。

4.权利要求1的压力传感器，其中，选择所述第一和第二面积、所述预定体积和所述粘度，并构造圆形拐角，使得液体粘合剂的预定体积形成四个相等尺寸的平缘，其被附着于第一直角矩形棱镜的侧面且被附着于第二直角矩形棱镜的顶面，平缘是被附着于第一直角矩形棱镜的侧面和第二直角矩形棱镜的顶面的液体粘合剂的凹面状积聚。

5.权利要求4的压力传感器，其中，基座的圆形拐角具有第一曲率半径且液体粘合剂的平缘具有第二曲率半径。

6.权利要求4的压力传感器，其中，基座的圆形拐角具有第一曲率半径且平缘具有垂直高度尺寸和水平宽度尺寸。

7.权利要求5的压力传感器，其中，第一曲率半径和第二曲率半径是相等的。

8.权利要求6的压力传感器，其中，拐角的第一曲率半径和平缘的宽度尺寸是相等的。

9.权利要求1的压力传感器，其中，所述液体粘合剂润湿第一直角矩形棱镜的侧面且润湿第二直角矩形棱镜的顶面。

10.权利要求1的压力传感器，其中，液体粘合剂是具有6500厘泊的粘度的环氧树脂，由此，液体粘合剂的表面张力使第一直角矩形棱镜的中心与第二直角矩形棱镜的中心对准。

11.权利要求4的压力传感器，其中，第一和第二孔通过平缘而相互对准。

12.一种形成压力传感器的方法，包括步骤：

向由具有四个垂直且矩形的侧面、具有中心的正方形顶面和具有中心的相对正方形底面的第一直角矩形棱镜形成的基座的顶面施加预定量的预定液体粘合剂，所述顶面具有四个相等长度的侧边和第一表面面积，第一直角矩形棱镜具有第一通孔，其延伸通过顶面和底面，所述预定液体粘合剂本身在其固化之前分布在顶面上和孔周围；以及

在基座的顶面上向液体粘合剂施加微机电压力传感器管芯，该微机电压力传感器管芯由第二直角矩形棱镜形成，其由硅制成，第二直角矩形棱镜具有平面的相对顶面和底面，其具有四个相等长度的侧边，该顶面和底面具有中心和第二表面面积，该第二表面面积小于第一表面面积，该第二直角矩形棱镜还包括通孔，其延伸通过顶面和底面；

由此，液体粘合剂在微机电压力传感器管芯被施加于液体粘合剂之后在微机电压力传感器管芯的外侧表面周围形成平缘，由此，在微机电压力传感器管芯周围的液体粘合剂的表面张力促使微机电压力传感器管芯被对准到基座的顶面的中心。