[发明专利]一种单倍率对称式投影曝光物镜有效
| 申请号： | 201410479916.X | 申请日： | 2014-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN104199173B | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 朱咸昌;胡松;赵立新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/22;G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 | 代理人： | 杨学明,顾炜 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单倍率对称式投影曝光物镜，其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。投影曝光物镜是光刻机的核心部件，决定了光刻机的主要性能。本发明所涉及的单倍率投影曝光物镜由12片透镜组成，采用对称式结构。物镜分辨力2.5μm，放大倍率为‑1，曝光视场15mm×15mm。本投影曝光物镜系统由第一组透镜组、光阑、第二组透镜组构成，第一和第二透镜组相对于光阑对称分布。本投影物镜共轭距为500mm，系统结构紧凑；同时，选用对i线(365nm)透过率较高的玻璃材料，提高系统光学透过率，满足投影光刻机的高精度及高产率需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倍率 对称 投影 曝光 物镜 | ||
【主权项】：
一种单倍率对称式投影曝光物镜，其特征在于：该投影曝光物镜采用双远心结构，即物镜物方和像方主光线与光轴平行；投影物镜系统分为前后两部分透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ，光阑位于透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ的共焦面；透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ相对于光阑对称分布，透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ均依次由第一负透镜(1)、第一正透镜(2)、第二正透镜(3)、第三正透镜(4)、第四正透镜(5)和第二负透镜(6)组成。
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