[发明专利]一种单倍率对称式投影曝光物镜

权利要求书

1.一种单倍率对称式投影曝光物镜，其特征在于：该投影曝光物镜采用双远心结构，即物镜物方和像方主光线与光轴平行；投影物镜系统分为前后两部分透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ，光阑位于透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ的共焦面；透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ相对于光阑对称分布，透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ均依次由第一负透镜(1)、第一正透镜(2)、第二正透镜(3)、第三正透镜(4)、第四正透镜(5)和第二负透镜(6)组成。

2.根据权利要求1所述的单倍率对称式投影曝光物镜，其特征在于：呈对称分布的第一负透镜(1)为平凹负透镜，物镜系统的第1面和最后面为平面。

3.根据权利要求1所述的单倍率对称式投影曝光物镜，其特征在于：透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ组成的物镜系统至少由12片透镜组成：透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ关于光阑对称，透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ组成的系统放大倍率为-1，具体的，为满足系统放大倍率要求，透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ满足：

0.992<f_I/f_II<1.008

其中，f_I和f_II分别为透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ的焦距。

4.根据权利要求1所述的单倍率对称式投影曝光物镜，其特征在于：透镜组Ⅰ和透镜组Ⅱ组成的物镜系统的工作波长为365±3nm，选用不同色散特性的材料校正系统色差，具体的：

1)第一负透镜(1)、第一正透镜(2)和第二正透镜(3)采用常用的冕玻璃，其材料特性为：

1.51<N_d1～3<1.53

60.16<V_d1～3<66.02

其中，N_d1～3分别为第一负透镜(1)、第一正透镜(2)和第二正透镜(3)的折射率；V_d1～3为其对应的色散系数；

2)第三正透镜(4)和第四正透镜(5)采用轻冕玻璃，其材料特性为：

1.47<N_d4～5<1.49

65.59<V_d4～5<70.04

其中，N_d4～5分别为第三正透镜(4)和第四正透镜(5)的折射率；V_d4～5为其对应的色散系数；

3)第二负透镜(6)采用轻火石玻璃，其材料特性满足：

1.55<N_d6<1.59

39.18<V_d6<48.76

其中，N_d6为第二负透镜(6)的折射率；V_d6为其对应的色散系数。

5.根据权利要求1所述的单倍率对称式投影曝光物镜，其特征在于：投影物镜数值孔径NA为0.12，分辨力为2.5μm；曝光视场为15mm×15mm；场曲优于±5μm；畸变优于±0.05μm，满足光刻机需求。