[发明专利]氧化铝陶瓷基片的表面合金化工艺在审
| 申请号： | 201410473528.0 | 申请日： | 2014-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN104451594A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 朱忠良 | 申请（专利权）人： | 朱忠良 |
| 主分类号： | C23C16/16 | 分类号： | C23C16/16;C23C16/52;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种氧化铝陶瓷基片的表面合金化工艺，包括如下步骤：(1)清洗基片，干燥；(2)将基片放入抽真空的气相沉积设备中，加热下通入Fe(CO)5和Cr(CO)6的饱和蒸汽，沉积，保温；(3)热扩散退火。经本发明的方法处理后的氧化铝陶瓷基片有稳定的结构形态，表面合金化提高了基片的力学及电学方面的表面性能，作为表面改性的新技术，可广泛应用于许多重要的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝陶瓷 表面 合金 化工 | ||
【主权项】：
一种氧化铝陶瓷基片的表面合金化工艺，包括如下步骤：(1)清洗基片，干燥；(2)将基片放入抽真空的气相沉积设备中，加热下通入Fe(CO)5和Cr(CO)6的饱和蒸汽，沉积，保温；(3)热扩散退火。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
