[发明专利]氧化铝陶瓷基片的表面合金化工艺在审
| 申请号： | 201410473528.0 | 申请日： | 2014-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN104451594A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 朱忠良 | 申请（专利权）人： | 朱忠良 |
| 主分类号： | C23C16/16 | 分类号： | C23C16/16;C23C16/52;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化铝陶瓷 表面 合金 化工 | ||
1.一种氧化铝陶瓷基片的表面合金化工艺，包括如下步骤：
(1)清洗基片，干燥；
(2)将基片放入抽真空的气相沉积设备中，加热下通入Fe(CO)5和Cr(CO)6的饱和蒸汽，沉积，保温；
(3)热扩散退火。
2.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，步骤(1)中的清洗为先将基片进行化学去污，然后超声波清洗。
3.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，步骤(2)中气相沉积设备反应室的真空为10-25Pa，加热的温度为250-350℃，优选为280℃；
优选地，气相沉积设备的反应室夹壁始终通水冷却。
4.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，步骤(2)中Fe(CO)5和Cr(CO)6的饱和蒸汽的纯度为99％以上，优选为99.9％。
5.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，步骤(2)中Fe(CO)5和Cr(CO)6的饱和蒸汽的流量为1-2mL·s-1。
6.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，步骤(2)中Fe(CO)5的蒸汽温度为5-15℃，优选为8℃；Cr(CO)6的蒸汽温度为50-60℃，优选为60℃。
7.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，步骤(2)中沉积的时间为10min以上，优选为15-20min。
8.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，步骤(2)中保温的时间为4h以上，优选为5-6h。
9.如权利要求1所述的合金化工艺，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将基片进行化学去污，然后超声波清洗，干燥；
(2)将基片放入抽真空为10-25Pa的气相沉积设备中，加热至250-350℃通入纯度为99％以上的Fe(CO)5和Cr(CO)6的饱和蒸汽，沉积10min以上，保温4h以上；其中通入的Fe(CO)5的蒸汽温度为5-15℃，Cr(CO)6的蒸汽温度为50-60℃；
(3)热扩散退火。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
