[发明专利]超声波接合用纯铜合金线的剖面构造有效
| 申请号: | 201410468025.4 | 申请日: | 2014-09-15 |
| 公开(公告)号: | CN105405828B | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
| 发明(设计)人: | 三上道孝;天野裕之;滨本拓也;三苫修一;执行裕之;中岛伸一郎;刘斌 | 申请(专利权)人: | 田中电子工业株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;C22C9/00;C22C9/02;C22C9/04 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 蔡石蒙,车文 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及超声波接合用纯铜合金线的剖面构造,其中提供一种线材,即使是纯铜合金连接线,在因大气中的氧而使线材表面的铜氧化物层为未饱和铜氧化物时,也可通过形成厚度为不使该氧化物层还原程度的有机碳层,使得超声波接合的制程容许度变得广泛。线材的成分包括,钛、锆、锌及锡中的至少1种贱金属,含量为40质量ppm以上且小于100质量ppm,剩余部分为纯度99.990~99.996质量%的铜;线材表面为通过金刚石拉延模缩径的拉延加工面,其整个面上形成总有机碳量为50~3000μg/m2的有机碳层,线材剖面最外层形成由未饱和铜氧化物构成的厚度为2~20纳米的铜氧化物层,该层内侧存在的贱金属呈未被内部氧化的状态。 | ||
| 搜索关键词: | 超声波 接合 铜合金 剖面 构造 | ||
【主权项】:
一种纯铜合金连接线的剖面构造,其为由0.02质量%以下的铜(Cu)以外的成分及剩余部分为铜(Cu)构成的纯铜合金线的剖面构造,其特征为:该纯铜合金连接线的成分组成包括,40质量ppm以上且小于100质量ppm的钛(Ti)、锆(Zr)、锌(Zn)及锡(Sn)中的至少1种贱金属,以及剩余部分由纯度99.990~99.996质量%的铜(Cu)构成;该纯铜合金连接线的剖面构造为线材表面通过金刚石拉延模而缩径的拉延加工面;该线材表面的整个面上形成总有机碳量(TOC值)为50~3,000μg/m2的有机碳层;线材剖面的最外层形成由氧未饱和的铜氧化物(Cu2‑xO)构成的、厚度2~20纳米的铜氧化物层,所述贱金属存在于该铜氧化物层的内侧,其呈未被内部氧化的状态。
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