[发明专利]LED芯片的制备方法和LED芯片在审
| 申请号: | 201410456241.7 | 申请日: | 2014-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN104218124A | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
| 发明(设计)人: | 姚禹;郑远志;陈向东;康建;梁旭东 | 申请(专利权)人: | 圆融光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/38 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
| 地址: | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种LED芯片的制备方法和LED芯片,能够有效提高芯片发光亮度。方案为:在衬底上依次生长缓冲层、N型半导体层、有源层、P型半导体层;在芯片发光区内部移除部分P型半导体层和有源层,使得部分N型半导体层裸露形成第一通孔;在P型半导体层上制作透明导电层,并移除透明导电层位于第一通孔内N型半导体层上覆盖的部分,移除部分透明导电层使得部分P型半导体层裸露形成第二通孔;在透明导电层上制作绝缘层,并移除位于第一通孔内N型半导体层上覆盖的部分;在第一通孔上形成第一反射电极,并在第二通孔上形成第二反射电极,第一反射电极与裸露的N型半导体层形成欧姆接触,第二反射电极与裸露的P型半导体层形成欧姆接触。 | ||
| 搜索关键词: | led 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种LED芯片的制备方法,其特征在于,包括:在衬底上依次生长缓冲层、N型半导体层、有源层、P型半导体层;在芯片发光区内部移除部分所述P型半导体层和所述有源层,使得部分所述N型半导体层裸露形成第一通孔;在所述P型半导体层之上制作透明导电层,并移除所述透明导电层位于所述第一通孔内所述N型半导体层上覆盖的部分,移除部分所述透明导电层使得部分所述P型半导体层裸露形成第二通孔;在所述透明导电层之上制作绝缘层,并移除所述绝缘层位于所述第一通孔内所述N型半导体层上覆盖的部分;在所述第一通孔上形成第一反射电极,并在所述第二通孔上形成第二反射电极,所述第一反射电极与所述裸露的N型半导体层形成欧姆接触,所述第二反射电极与所述裸露的P型半导体层形成欧姆接触。
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