[发明专利]静压出流显影喷嘴在审
| 申请号: | 201410455845.X | 申请日: | 2014-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN104166318A | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
| 发明(设计)人: | 刘学平;徐强;王汉;向东;刘睿;段广洪 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;B05B1/00 |
| 代理公司: | 深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 | 代理人: | 李保明;张慧芳 |
| 地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种静压出流显影喷嘴,它包括:主体、隔板和盖板,所述主体呈长条状,主体内沿长边方向设置储液槽,所述储液槽由上槽部和下槽部构成,上槽部的宽度大于下槽部的宽度在二者连结部形成台阶,台阶的长边沿成型有外高内低的引流面,下槽部的底部设置若干出流小孔,下槽部侧壁靠近两端处分别设置下槽部的排气孔,所述上槽部构成喷嘴的一级流道,下槽部构成喷嘴的二级流道;所述隔板设置于所述储液槽内的台阶上,隔板上于所述引流面上方设置过流缝;所述盖板密封装配于所述储液槽的口部。采用上述静压出流方式及排气孔结构,显著提高了喷涂的稳定性和均匀性。 | ||
| 搜索关键词: | 静压 显影 喷嘴 | ||
【主权项】:
一种静压出流显影喷嘴,其特征在于,包括:主体,呈长条状,主体内沿长边方向设置储液槽,所述储液槽由上槽部和下槽部构成,上槽部的宽度大于下槽部的宽度在二者连结部形成台阶,台阶的长边沿成型有外高内低的引流面,下槽部的底部设置若干出流小孔,下槽部侧壁靠近两端处分别设置下槽部的排气孔,所述上槽部构成喷嘴的一级流道,下槽部构成喷嘴的二级流道;隔板,设置于所述储液槽内的台阶上,隔板上于所述引流面上方设置过流缝;以及盖板,密封装配于所述储液槽的口部。
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