[发明专利]静压出流显影喷嘴在审

专利信息
申请号: 201410455845.X 申请日: 2014-09-09
公开(公告)号: CN104166318A 公开(公告)日: 2014-11-26
发明(设计)人: 刘学平;徐强;王汉;向东;刘睿;段广洪 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30;B05B1/00
代理公司: 深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 代理人: 李保明;张慧芳
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种静压出流显影喷嘴,它包括:主体、隔板和盖板,所述主体呈长条状,主体内沿长边方向设置储液槽,所述储液槽由上槽部和下槽部构成,上槽部的宽度大于下槽部的宽度在二者连结部形成台阶,台阶的长边沿成型有外高内低的引流面,下槽部的底部设置若干出流小孔,下槽部侧壁靠近两端处分别设置下槽部的排气孔,所述上槽部构成喷嘴的一级流道,下槽部构成喷嘴的二级流道;所述隔板设置于所述储液槽内的台阶上,隔板上于所述引流面上方设置过流缝;所述盖板密封装配于所述储液槽的口部。采用上述静压出流方式及排气孔结构,显著提高了喷涂的稳定性和均匀性。
搜索关键词: 静压 显影 喷嘴
【主权项】:
一种静压出流显影喷嘴,其特征在于,包括:主体,呈长条状,主体内沿长边方向设置储液槽,所述储液槽由上槽部和下槽部构成,上槽部的宽度大于下槽部的宽度在二者连结部形成台阶,台阶的长边沿成型有外高内低的引流面,下槽部的底部设置若干出流小孔,下槽部侧壁靠近两端处分别设置下槽部的排气孔,所述上槽部构成喷嘴的一级流道,下槽部构成喷嘴的二级流道;隔板,设置于所述储液槽内的台阶上,隔板上于所述引流面上方设置过流缝;以及盖板,密封装配于所述储液槽的口部。
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