[发明专利]静压出流显影喷嘴在审

专利信息
申请号: 201410455845.X 申请日: 2014-09-09
公开(公告)号: CN104166318A 公开(公告)日: 2014-11-26
发明(设计)人: 刘学平;徐强;王汉;向东;刘睿;段广洪 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30;B05B1/00
代理公司: 深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 代理人: 李保明;张慧芳
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 静压 显影 喷嘴
【权利要求书】:

1.一种静压出流显影喷嘴,其特征在于,包括:

主体,呈长条状,主体内沿长边方向设置储液槽,所述储液槽由上槽部和下槽部构成,上槽部的宽度大于下槽部的宽度在二者连结部形成台阶,台阶的长边沿成型有外高内低的引流面,下槽部的底部设置若干出流小孔,下槽部侧壁靠近两端处分别设置下槽部的排气孔,所述上槽部构成喷嘴的一级流道,下槽部构成喷嘴的二级流道;

隔板,设置于所述储液槽内的台阶上,隔板上于所述引流面上方设置过流缝;以及

盖板,密封装配于所述储液槽的口部。

2.如权利要求1所述的静压出流显影喷嘴,其特征在于:所述出流小孔的孔径为0.1-0.6mm,深径比为2-6,所有出流小孔的面积和与所述过流缝的面积之比为0.02-0.05,所有排气孔的面积和与所述过流缝的面积之比为0.05-0.3。

3.如权利要求1所述的静压出流显影喷嘴,其特征在于:所述排气孔到二级流道上端的垂直距离为4~8mm。

4.如权利要求1所述的静压出流显影喷嘴,其特征在于:所述引流面的坡角为30~60度。

5.如权利要求1所述的静压出流显影喷嘴,其特征在于:所述主体的底面在出流小孔周围成型有上大下小的突出部。

6.如权利要求1所述的静压出流显影喷嘴,其特征在于:所述主体的两个较长外侧面分别沿长边方向设置长条形的凹腔,该凹腔处于所述储液槽的侧面,凹腔口部密封安装侧板构成保温液容置腔。

7.如权利要求6所述的静压出流显影喷嘴,其特征在于:主体外侧面的凹腔的长度小于储液槽的长度,所述排气孔分布在该凹腔的两端。

8.如权利要求1所述的静压出流显影喷嘴,其特征在于:所述一级流道和二级流道的高度比为0.2-0.4。

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