[发明专利]聚酰亚胺涂布及烘烤方法有效
| 申请号： | 201410449625.6 | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN104261344A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 高江;雷述宇 | 申请（专利权）人： | 北方广微科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B05D1/38;B05D3/02;B05D3/00;B05C11/02 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种低成本、低缺陷密度的高粘度聚酰亚胺涂布及烘烤方法，该方法依次包括以下步骤：在晶圆表面涂布增粘剂；对所述涂布过增粘剂的晶圆进行第一烘烤；对所述第一烘烤过的晶圆进行第一冷却；在所述第一冷却后的晶圆表面涂布聚酰亚胺；对所述涂布有聚酰亚胺的晶圆进行第二烘烤；对所述第二烘烤过的晶圆进行第二冷却；对所述第二冷却后的晶圆进行紫外烘烤，所述紫外烘烤采用真空吸盘与深紫外灯共同加热的模式。本发明实施例解决了由于PI胶由于粘度大而产生的气泡缺陷问题，进而提高了产品成品率及成像品质。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 烘烤 方法 | ||
【主权项】：
一种聚酰亚胺涂布及烘烤方法，其特征在于，该方法依次包括以下步骤：：a)在晶圆表面涂布增粘剂；b)对所述涂布过增粘剂的晶圆进行第一烘烤；c)对所述第一烘烤过的晶圆进行第一冷却；d)在所述第一冷却后的晶圆表面涂布聚酰亚胺；e)对所述涂布有聚酰亚胺的晶圆进行第二烘烤；f)对所述第二烘烤过的晶圆进行第二冷却；g)对所述第二冷却后的晶圆进行紫外烘烤，所述紫外烘烤采用真空吸盘与深紫外灯共同加热的模式。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方广微科技有限公司，未经北方广微科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410449625.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
