[发明专利]聚酰亚胺涂布及烘烤方法

权利要求书

1.一种聚酰亚胺涂布及烘烤方法，其特征在于，该方法依次包括以下步骤：：

a)在晶圆表面涂布增粘剂；

b)对所述涂布过增粘剂的晶圆进行第一烘烤；

c)对所述第一烘烤过的晶圆进行第一冷却；

d)在所述第一冷却后的晶圆表面涂布聚酰亚胺；

e)对所述涂布有聚酰亚胺的晶圆进行第二烘烤；

f)对所述第二烘烤过的晶圆进行第二冷却；

g)对所述第二冷却后的晶圆进行紫外烘烤，所述紫外烘烤采用真空吸盘与深紫外灯共同加热的模式。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述步骤a)在晶圆表面涂布增粘剂后对晶圆进行增粘剂浸润。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，对晶圆进行增粘剂浸润的时间为15-25秒。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤d)具体包括：

旋转晶圆，采用喷涂旋转式对晶圆进行聚酰亚胺涂布；

对涂布后的晶圆进行静置；

旋转晶圆进行匀胶。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述涂布的时间为20-25秒。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述对晶圆进行静置的时间为25-35秒。

7.根据权利要求4所述的方法，其中，所述匀胶的具体步骤为：

首先调整晶圆转速为第一转速，进行一定时间的第一步匀胶；

然后调整晶圆转速至第二转速，进行一定时间的第二步匀胶；

最后调整晶圆转速至第三转速，进行一定时间的第三步匀胶。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一转速小于第三转速小于第二转速。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤e)中对所述涂布有聚酰亚胺的晶圆进行第二烘烤的时间为25-35秒。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤f)对所述烘烤过的晶圆进行第二冷却的时间为25-35秒。