[发明专利]一种激光振动、位移传感器及其测量方法有效
| 申请号: | 201410449192.4 | 申请日: | 2014-09-04 |
| 公开(公告)号: | CN104236464B | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
| 发明(设计)人: | 叶岗;宋云峰;陈士钊;王晓;王雷 | 申请(专利权)人: | 宁波舜宇智能科技有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 315400 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明提供一种激光振动、位移传感器及其测量方法,所述激光器出射激光,通过准直系统投射到振动物体上,垂直散射光通过准直系统回到激光器,形成自混合干涉系统;探测器测量激光器输出功率,通过信号解调实现振动物体的高频振动测量;所述振动物体的斜向散射进入聚焦系统中,在散射探测器上得到聚焦光斑位置,形成激光三角法结构,通过散射探测器上光斑位置能够反演出物体的绝对距离,实现测量振动物体的低频位移变化。本发明在不增加系统复杂度的情况下,实现了激光三角法与激光自混合技术的有机结合,实现了测量高频振动与低频位移变化两种功能。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 激光 振动 位移 传感器 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
一种激光振动和位移传感器,其特征在于:包括光学系统(1)与电路系统(3);在物体振动高频情况下,所述电路系统(3)的驱动电路(33)形成周期电流驱动光学系统(1)的激光器出射激光投射到物体(2)上,所述物体(2)的散射光反馈回激光器(11)形成自混合干涉,并由所述电路系统(3)进行物体(2)的高频振动解调;在物体振动低频情况下,所述电路系统(3)的驱动电路(33)形成恒流电流驱动光学系统(1)的激光器出射激光投射到物体(2)上,所述物体(2)的斜向散射光由聚焦系统(14)接收,在线阵探测器(15)上形成光斑,形成激光三角法结构,并由所述电路系统(3)进行物体(2)的低频振动解调。
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