[发明专利]一种半自动清洗控制装置有效
| 申请号： | 201410447645.X | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN105467860B | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 陈春河;余权颖 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种半自动清洗控制装置，以解决现有技术中通过人工操作对器件进行清洗，容易出现操作失误导致器件未清洗干净，或器件清洗报废的问题。本半自动清洗控制装置中信号控制单元接收到开始触发信号，触发向第一计时单元发送计时信号；第一计时单元接收到计时信号后，触发开始计时，计时时长达到第一设定时长后，触发向排液计时控制单元发送计时完成信号；排液计时控制单元接收到计时完成信号，触发控制排水阀开启，进行排液处理，排液完成后触发向信号控制单元发送排液完成信号；通过第一计时单元自动记录清洗时长，到达设定时长后触发排液计时控制单元自动排液，降低了由于操作人员操作失误导致器件报废的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半自动 清洗 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种半自动清洗控制装置，包括排液计时控制单元，其特征在于，该装置还包括信号控制单元、第一计时单元；所述信号控制单元，用于接收到开始触发信号，触发向所述第一计时单元发送计时信号；以及接收到排液完成信号，进行复位处理；所述第一计时单元，用于接收到计时信号后，触发开始计时，计时时长达到第一设定时长后，触发向所述排液计时控制单元发送计时完成信号；所述排液计时控制单元，用于接收到计时完成信号，触发控制排水阀开启，进行排液处理，排液完成后触发向所述信号控制单元发送排液完成信号。
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