[发明专利]基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器在审
| 申请号： | 201410439227.6 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN104202011A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 鲍景富;李昕熠;王秋苹;黄裕霖 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器，属于电子科学技术领域。包括一个绝缘材料振动块，振动块采用四个支撑锚点架空于基片上，任意两个支撑锚点之间的振动块侧边沉积导电材料形成换能电容内电极，四个支撑锚点上分别具有一个直流驱动电压输入端，四个输入输出端口分别通过一段导电材料与一个换能电容外电极相连。本发明采用绝缘材料制作振动块，使得谐振器输入的电信号无法直接经由直通电容而传输至输出端，而是经过电-机-电的转换过程，从而尽量降低了直通电容的影响，提高了谐振器的能量转换效率，使其具有更好的选频特性，并抑制谐振器的输出杂散。同时，每个谐振器换能电容内电极具有单独的驱动电压，使得驱动电压分布更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 绝缘材料 振动 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器，其结构包括一个绝缘材料制作的振动块(1)，所述振动块(1)采用四个对角旋转对称分布的支撑锚点(2‑1、2‑2、2‑3和2‑4)架空设置在衬底基片上；任意两个支撑锚点之间的振动块(1)的侧面沉积有金属层作为谐振器输入输出端换能电容的一个内电极(3‑1、3‑2、3‑3和3‑4)，每个支撑锚点(2‑1、2‑2、2‑3或2‑4)表面设置有一个谐振器直流驱动电压输入端(5‑1、5‑2、5‑3或5‑4)，每个谐振器直流驱动电压输入端(5‑1、5‑2、5‑3或5‑4)与对应谐振器输入输出端换能电容内电极(3‑1、3‑2、3‑3或3‑4)电气连接；与每个谐振器输入输出端换能电容内电极(3‑1、3‑2、3‑3或3‑4)对应位置的基片表面设置有一个谐振器输入输出端换能电容外电极(4‑1、4‑2、4‑3或4‑4)，每个谐振器输入输出端换能电容内电极(3‑1、3‑2、3‑3或3‑4)与对应一个谐振器输入输出端换能电容外电极(4‑1、4‑2、4‑3或4‑4)形成一个换能电容；所述谐振器还包括四个输入输出端口(7‑1、7‑2、7‑3和7‑4)，每个输入输出端口(7‑1、7‑2、7‑3或7‑4)各自对应采用一段导电材料(6‑1、6‑2、6‑3或6‑4)与对应的谐振器输入输出端换能电容外电极(4‑1、4‑2、4‑3或4‑4)电气连接。
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